2005年10月22日，周六。
上海。
浦東張江。上海微電子測試中心。
林遠推開測試中心大門的時候，杜建國已經在門口等著了。
杜建國是上海微電子的測試中心總工，四十出頭，壯實，說話直來直去。他主持的雙工件台項目是國內最先進的光刻工件台，晶片級驗證精度一點五個納米——這個數據在龍騰甲回片時已經證明過了。
"林總，這邊請。"
主廠房裡，雙工件台靜靜立在無塵平台中央。三年，杜建國的團隊從零做到了這台設備。
但今天，主廠房中央多了兩台恆溫運輸箱。
箱子是昨天從慕尼黑經法蘭克福空運到上海的。裡面裝的是顧氏半導體交付的EUV光學系統核心模組。
顧明誠帶著兩名德國工程師已經到了兩天。靜態檢測做了四十八小時，數據全部正常。
三個人站在工件台前。
三大系統，第一次在同一個物理空間裡會合。
"集成窗口準備情況怎麼樣？"林遠問。
杜建國翻了一下手裡的清單："機械接口——到位。電氣接口——到位。通信協議——趙強上周凍結的版本，已經全部寫入固件。"
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他抬頭看林遠："硬體層面全部就緒，就等你的集成方案。"
林遠轉向顧明誠："顧總，聯合仿真模型的參數你們過了一遍？"
顧明誠點頭："看過了。但我有一個顧慮——你們要用仿真結果指導物理集成，可光學系統的參數還沒到場驗證。萬一模型和實際有偏差，物理集成就沒有糾錯空間。"
"顧總，"林遠說，"工程樣機在慕尼黑做過兩輪標定。模型誤差控制在零點三個納米以內。"
"零點三個納米，"顧明誠皺眉，"但這是系統級的，不是單台設備。單台設備我們各自驗過，系統級的耦合——"
"所以要先跑仿真。"林遠打斷他，"仿真不是替代驗證，是提前發現驗證發現不了的東西。"
顧明誠不說話了。
杜建國看看林遠，又看看顧明誠："六個小時夠嗎？"
"夠。"林遠說，"趙強昨晚已經開始了。今天下午出第一輪結果。"
下午三點。
虛擬仿真跑完了第一輪。
趙強在北京遠程接入，屏幕上是三組疊加的仿真曲線。
"發現一個問題。"趙強說，語氣平靜，但所有人都聽出了分量。
屏幕上，光源和工件台在特定掃描速度下存在零點七個納米的系統級耦合漂移。
"這個漂移在任何一個子系統的規格書里都不存在。"趙強說，"只有三個系統聯合運行時才會出現——是機械共振和光學像差的耦合效應。"
杜建國盯著屏幕看了十秒。
"我們在對準方案里沒有補償這個漂移。"
"因為你們測不到。"林遠說，"單台設備的測試環境裡，這個效應不存在。只有三個系統放在一起、以光刻掃描速度聯合運行時，它才會暴露。"
顧明誠推了推眼鏡。二十年的光學經驗告訴他，林遠說的是對的——系統級效應不是單台設備測試能覆蓋的。
"如果不補償，"顧明誠慢慢說，"物理集成後，對準精度會從預期的兩納米退化到三點五納米以上。"
"三點五納米，"林遠說，"對於六十五納米節點勉強夠用。但對於四十五納米——龍騰乙——不夠。"
會議室安靜了幾秒。
"補償方案？"杜建國問。
"趙強已經生成了。"林遠說，"一組動態補償參數，寫入工件台的控制固件。物理集成時直接加載。"
杜建國看了看仿真數據，又看了看顧明誠。顧明誠微微點頭。
"如果這顆雷沒排到，"杜建國低聲說，"物理集成之後才發現——要拆掉重來。"
"不只是拆掉重來。"林遠說，"是浪費五到七天的調試窗口。十月二十五號的測試直接報廢。"
杜建國後背一涼。
"今晚改固件，"他說，"明天物理集成。"
物理集成還沒開始。虛擬仿真已經替他們排掉了第一顆雷。
晚上八點。核心團隊協調會。
趙強在北京視頻接入。杜建國、顧明誠、兩名德國工程師在會議室。
"接口協議最終版，"趙強說，"昨晚凍結。時鐘域同步標記全部寫入固件，雙工件台編碼器精度經過四輪反覆標定，穩定在零點五個納米。"
顧明誠："光源團隊確認——波長穩定性七十二小時連續測試，漂移率百分之一點三，低於百分之一點五的指標上限。"
林遠沒有多說。
"各位，系統級的誤差不是三個子系統誤差的簡單相加。"他說，"是耦合放大的結果。仿真模型的價值就在這裡——在物理設備動起來之前，把耦合誤差找出來，壓下去。"
他看著所有人。
"明天的物理集成，每一步完成後都做全系統校驗。發現問題，立刻停下來分析，不搶時間。我們只有一次機會——十月二十五號，不等人。"
散會後，杜建國在走廊追上林遠。
"林總，明天——你覺得有幾成把握？"
"七成。"
"剩下三成呢？"
"杜總，你覺得我們會失敗？"
杜建國愣了一下。
"虛擬模型把系統級的耦合誤差壓到了零點三個納米。"林遠說，"剩下的三成是工程執行——而工程執行，是我們最強的部分。"
杜建國咧嘴笑了。
深夜。酒店。
林遠閉上眼睛，意識沉入腦海。
小艾的信息浮了上來。
【緊急：科爾曼正式向BIS提交了加速評估申請。理由——"掌握了歐洲聯合實驗室的最新進展數據，認為現有出口管制框架可能需要調整"。】
林遠心裡一沉。
科爾曼不是要放鬆。科爾曼是要搶——搶在他們證明系統級集成可行之前，把管制框架鎖死。
"反制方案？"
【建議：通過學術渠道提前釋放系統級集成的核心論文。時間——聯合測試當天。政策層面和輿論層面，同時引爆。】
"論文準備好了？"
【已準備。核心結論：系統級聯合仿真將光刻系統集成精度壓到兩納米以內。這項成果如果發表，將改寫行業認知。期刊目標：《應用物理快報》。審稿周期——兩周。】
"做。同時聯繫《光學快報》。英文版兩周內上線。"
【已執行。】
林遠睜開眼。
桌上的文件靜靜躺著。封面印著一行字——
龍騰乙光刻系統聯合驗證·第一階段。
明天。十月二十五號。
同一夜。華盛頓。
布朗站在辦公室窗前，看著對面的路燈。
牆上貼著一張紙條。上面只有一個日期，用紅筆圈了三圈。
謝弗的兩周期限——十月二十五號。
快兩周了。謝弗沒有任何動作。
威爾遜剛才來電話："董事會那邊，有人開始對65納米項目的持續延期表示不滿。但還沒有人挑頭。"
"材料準備好了？"威爾遜問。
"隨時可以。"
"那就再等兩天。兩天後如果謝弗還沒動靜——我們上董事會。"
布朗掛了電話，目光落在那張紙條上。
謝弗已經沉默了快兩周。兩周里，沒有電話，沒有郵件，沒有任何信號。布朗不知道謝弗在評估什麼——還是在等什麼人來給他一個不需要做決定的理由。
但布朗已經不需要了。他有十一頁分析報告，有威爾遜的技術驗證，有董事會裡兩個對65納米延期不滿的董事。
十月二十五號。
三天之後。