咔噠。
配電箱的金屬蓋板被悄無聲息地卸下,露出了後方直通無塵車間的通風管道百葉窗。
那雙戴著髒污勞保手套的手從口袋裡摸出一個極小的壓縮氣罐,針頭精準地扎進百葉窗的縫隙中。
嗤——!
一縷肉眼不可見的微量凝固氣體,順著管道內壁,無聲無息地飄向了光刻機核心車間。
車間內,刺目的白光照亮了整個操作台。
高純度的金黃色極紫外光刻膠原液,順著高壓微管,穩穩懸停在八英寸晶圓的正中心。
「滴膠。」
程美麗清冷的聲音在車間內響起。
一滴粘稠的原液精準滴落。
「啟動旋塗。」
嗡——!
旋塗機的真空吸盤死死鎖住晶圓,主軸開始高速旋轉,發出平穩的低鳴。
金黃色的膠體在離心力的作用下,如同一層完美的薄膜,迅速向晶圓四周鋪展開來。
李副部長和幾名核心專家屏住呼吸,死死盯著上方懸掛的雷射平整度檢測儀。
紅色的掃描光束在晶圓表面來回穿梭。
滴!
大屏上的數據瘋狂跳動,最終死死卡在一個數字上。
0.05微米。
「不行!」
技術組長急得滿頭大汗,一拳砸在金屬護欄上。
「誤差卡在0.05微米下不去了!這個平整度根本達不到EUV光源的點火標準!」
程美麗站在操作台前,目光銳利地鎖定在高速旋轉的主軸底座上。
「機器沒問題,是配重。」
她雙手快速在鍵盤上敲擊,調出主軸的震動波形圖。
「新配方的膠體粘度太高,主軸原有的震動頻率產生了微共振。」
「停機。」
嗡鳴聲驟停。
程美麗大步走上前,纖細的手指直接點在主軸左側的金屬卡扣上。
「拿配重鉛塊來。」
「在這裡,加0.5克,微調動平衡。」
兩名高級技工滿頭大汗地衝上來,用醫用鑷子夾著極小的鉛塊,精準卡入指定位置。
「重新點火旋轉!」
主軸再次咆哮著提速。
就在這最關鍵的瞬間。
頭頂的百葉窗內,一股極度微弱的異樣氣流悄然捲入車間。
滴滴滴滴!
雷射檢測儀猛地爆發出悽厲的紅色警報聲!
「怎麼回事!」
李副部長驚恐地抬起頭。
大屏上,原本平滑的膠體三維掃描圖上,肉眼可見地鼓起了一層密密麻麻的微小突起。
「有顆粒!」
檢測員尖叫出聲,聲音里透著絕望。
「膠體表面發生未知凝固反應!剛鋪好的塗層要報廢了!」
整個車間的空氣瞬間凝固,所有人的臉色煞白如紙。
陸川站在操作台側後方,鼻翼微動,深邃的眼底猛地爆開一團駭人的殺機。
化學凝固劑的微弱氣味。
他右腳重重蹬地,修長的身軀化作一道殘影,直接撲向牆邊的環境控制櫃。
砰!
他一拳砸碎防護玻璃,狠狠拉下最頂端的紅色拉杆。
「鎖死通風口!」
他頭也不回地怒吼,聲音如炸雷般劈開車間的恐慌。
「啟動軍用級內循環淨化系統!」
轟——!
四台重型淨化風扇同時爆發出狂暴的轟鳴,巨大的吸力瞬間將車間內的殘餘空氣強行抽離。
但塗層表面的凝固顆粒已經形成。
「毀了……全毀了……」技術組長雙腿發軟,死死扒著操作台邊緣。
「閉嘴!」
程美麗厲喝一聲,半步未退。
意識深處,系統面板瞬間亮起刺目的金光。
【權限確認:系統微調開關已解鎖。】
她雙手重重拍在操作台上,十指化作殘影,瘋狂敲擊工業鍵盤,直接繞過機械保護程序。
底層控制代碼被她強行撕開一條缺口。
「強行解鎖主軸轉速鎖!」
滴——!
操作台上的紅燈陷入瘋狂的頻閃。
【警告!轉速即將突破物理極限!主軸有斷裂風險!】
刺耳的機械合成音響徹車間。
陸川拔出腰間的配槍,大步跨回操作台側前方。
他用高大的身軀死死擋在程美麗身前,槍口斜指地面,冷厲的目光警戒四周,任由警報聲撕扯耳膜,連眉頭都沒有皺一下。
程美麗眼神如刀,左手一把攥住極限加速的金屬推桿,骨節發白。
「給我轉!」
她猛地將推桿一推到底!
滋——嗡嗡嗡嗡!
旋塗機主軸發出一聲幾乎要撕裂鋼鐵的尖嘯!
轉速在兩秒內強行飆升至恐怖的三萬轉極限!
狂暴無匹的離心力化作無形的巨手,狠狠碾壓在晶圓表面!
那些剛剛凝固的微小顆粒,被這股恐怖的力量硬生生撕碎、連根拔起,順著晶圓邊緣瘋狂甩飛而出!
啪啪啪啪!
密集的顆粒砸在防爆玻璃內壁上,爆出令人牙酸的密集脆響。
整個機器底座都在劇烈震顫,固定螺栓發出不堪重負的呻吟。
十秒。
二十秒。
三十秒!
「降速!」
程美麗手腕發力,猛地將推桿拉回原位。
尖嘯聲如潮水般退去。
主軸帶著強大的慣性緩緩降速,最終平穩停滯。
車間內死一般的寂靜,只剩下淨化風扇的低鳴。
所有人的視線,死死釘在上方的電子大屏上。
雷射檢測儀的紅色光束再次掃過晶圓表面。
滴!
一聲清脆的系統音。
刺目的紅燈瞬間轉為柔和的綠光。
大屏上的數字瘋狂跳動,最終穩穩地停格。
0.001微米。
檢測員死死抓著自己的頭髮,眼珠子幾乎要瞪出眼眶,激動得聲音徹底劈了叉。
「降下來了!」
「千分之一微米!平了!完全平了!」
李副部長雙腿一軟,死死撐著欄杆,眼淚當場就飆了出來。
「快!立刻上報!」
他扯著嗓子嘶吼。
「華夏突破極紫外塗層了!」
震天的歡呼聲瞬間掀翻了車間的頂棚。
就在這沸騰的剎那。
陸川收槍入套,深邃的黑眸里閃過一抹暴烈的寒光。
他猛地轉身,右腿蓄力爆發,一腳將厚重的防爆大門踹得轟然大開。
整個人化作一道黑色閃電,直衝車間外漆黑的走廊。
走廊盡頭的拐角處。
那道穿著髒污後勤制服的黑影,正拼了命地往消防樓梯口狂奔。
「跑?」
陸川冷哼一聲,腳下軍靴猛地一踩牆面。
他借著牆壁的恐怖反彈力騰空而起,在半空中悍然擰腰。
修長的右腿掄出一道駭人的殘影,帶著撕裂空氣的厲嘯,狠狠劈在黑影的後頸上!
砰!
一聲令人牙酸的悶響。
黑影連慘叫都沒來得及發出,整個人像一灘爛泥般重重砸在堅硬的水泥地面上,向前死死滑出三米多遠。
陸川落地如釘,大步上前。
軍靴毫不留情地踩住對方的脊背,用力一碾。
啪嗒。
一張深藍色的卡片,從黑影敞開的工裝口袋裡滑落,掉在冰冷的地面上。
陸川低頭掃了一眼,眼底的殺機瞬間凝固成冰。
那是一張帶有軍區高級權限的硬質通行證。
職務欄上,清清楚楚地印著六個黑字。
安保處副處長。