【29秒。】
【28秒。】
兩名特衛拖著老顧問就往外拽。
老顧問還在狂笑,鞋底蹭著地面,發出刺耳的摩擦聲。
「沒用!」
「你們贏不了!」
「那道光根本聚不住!」
陸川一步橫出,擋在主控台側後方。
黑沉沉的槍口微垂。
目光卻冷得像刀。
程美麗沒看他,也沒看那條被拖遠的瘋狗。
她直接走上主控台。
金屬踏板被高跟鞋踩出兩聲脆響。
啪!
她一把掀開主控台防塵罩,雙手按住啟動面板。
「光源,全開。」
【27秒。】
轟——!
極紫外光源的高壓放電發生器猛地咆哮。
巨大的電流沖入等離子激發艙。
刺眼的藍白色強光在艙內猛地炸開。
防爆玻璃外,所有人的臉都被那一瞬的強光照得發白。
嗡嗡嗡!
光刻機內部的冷卻泵、高壓電源、鏡頭組同步啟動,整台鋼鐵巨獸像是被點醒了。
「起光了!」
一名技術員失聲喊了出來。
大屏幕上,主光路追蹤圖瞬間亮起。
第一束極紫外強光穿過激發艙,狠狠撞向第一面非球面反射鏡。
下一秒。
紅色警示框猛地彈出。
滴滴滴滴!
「偏了!」
光路監測員臉色煞白,死死抓著操作台邊緣。
「主光束在二號反射面出現橫向偏折!」
「焦點鎖定失敗!」
大屏幕上,那道本該筆直前沖的高能光束,在鏡組中段出現了一個細微、卻足以致命的弧度。
肉眼幾乎看不見。
但在放大的光路圖裡,像一根骨頭生生錯了位。
「補償算法呢!」
李副部長扯著嗓子吼,聲音都劈了。
一名老專家站在副控台前,手指瘋狂敲擊鍵盤,冷汗順著下巴往下淌。
「算不過來!」
「國內現有算法模型吃不下這種納米級偏折!」
「算力不夠,鎖不住焦點!」
「繼續算下去,光源先廢!」
周圍幾名工程師的臉徹底白了。
千辛萬苦走到點火這一步。
結果還是被卡死在最後一口氣上。
顧不上旁人的反應,程美麗抬手按住主控台邊緣,眼神冷得嚇人。
「廢物。」
她吐出兩個字。
然後從白大褂口袋裡,摸出一隻銀灰色的金屬U盤。
這東西不大。
邊角卻泛著一種不屬於這個時代的冷硬光澤。
「你們算不動。」
「我來。」
啪!
U盤被她狠狠插進主控機接口。
【叮!】
【跨時代光學微調算法已接入。】
【平台微調開關,已同步解鎖。】
主控屏幕黑了一瞬。
下一秒。
無數複雜到令人頭皮發麻的矩陣,像雪崩一樣鋪滿整個電子大屏。
一行。
十行。
百行!
綠色字符瘋狂滾動,速度快到所有人眼球發酸。
「這是什麼算法……」
一名院士級專家下意識往前走了半步,眼神都直了。
沒人回答他。
因為下一秒。
大屏幕上的偏折角修正值開始瘋狂回落。
0.017。
0.011。
0.006!
原本那道出現弧度的極紫外光束,在鏡組畫面中,像是被一隻無形的大手硬生生掰直了。
「回來了!」
光路監測員猛地撲到屏幕前,聲音都破了。
「主光束重回中軸線!」
「二號鏡、三號鏡反射面全部歸正!」
「焦點開始鎖定!」
程美麗站在主控台前,十指壓上工業鍵盤。
噠噠噠!
她沒有停。
U盤算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微調指令,被她直接灌進鏡組平台底層。
「一號鏡,左偏補償0.003。」
「三號鏡,抬高。」
「五號鏡,鎖死。」
「看掩膜版。」
她聲音不大。
卻像一把冰冷的錘子,砸進每個人耳朵里。
操作員猛地回神,撲向副屏。
畫面切換。
那道被強行歸正的極紫外光束,穿透複雜到令人窒息的鏡頭群,最終精準轟擊在掩膜版之上。
嗤!
一聲極輕的灼響。
光,咬住了。
「聚焦成功!」
「主焦點鎖定成功!」
會場裡先是一靜。
緊接著。
轟!
整個主控區像炸了一樣。
「成了!」
「真的聚住了!」
「曝光!快上曝光程序!」
程美麗一掌拍下執行鍵。
啪!
晶圓工件台開始高速平移。
塗滿極紫外光刻膠的八英寸晶圓,在真空吸附台上穩穩前送。
那束殺穿所有封鎖的極紫外光,透過掩膜版,在晶圓表面留下一道又一道肉眼不可見的微觀刻痕。
全場沒人再說話。
只剩設備運轉的低沉轟鳴。
還有眾人壓得發疼的呼吸。
三分鐘後。
滴!
曝光結束。
晶圓被機械抓手緩緩送出,推入顯影清洗區。
化學顯影液如細雨般淋下。
沖洗。
定型。
白色水霧彌散在玻璃罩內,遮得人眼前發白。
「出來了。」
程美麗開口。
機械抓手應聲探出,將首片曝光後的晶圓平穩夾起,送向最高精度電子顯微鏡平台。
李副部長站在顯微鏡前,手都不知道該往哪放。
一名院士死死抓著自己的老花鏡,指節泛白。
程美麗走過去,親手轉動焦距旋鈕。
咔。
目鏡鎖定。
她低頭看了一眼。
沒說話。
直接抬手把顯微鏡畫面投上了主屏。
嗡!
巨幕亮起。
一片安靜得近乎完美的微觀世界,瞬間鋪滿全場視野。
晶格。
線路。
一道道細密到讓人頭皮發麻的電路紋路,整整齊齊排布在矽片之上。
每一條邊緣都鋒利。
每一個拐角都乾淨。
沒有塌陷。
沒有毛刺。
沒有任何因為失焦帶來的燒灼和畸變。
主屏右上角,自動檢測數值緩緩跳出。
0.5微米。
李副部長盯著那串數字,整個人像是被雷劈中了。
「零點……五……」
他張了張嘴,聲音卻卡在嗓子裡。
下一秒。
他猛地抬起手,死死捂住自己的臉。
肩膀劇烈發抖。
「成了……」
「成了啊!」
這聲吼出來的時候,整個車間徹底炸了。
歡呼聲。
拍桌聲。
金屬欄杆被砸得咣咣作響。
兩名頭髮花白的院士當場紅了眼,摘下眼鏡抹臉,動作都在抖。
其餘人的反應徹底失控,幾個人抱在一起,幾個人高高舉起圖紙,像瘋了一樣吼。
但這些聲音,都被程美麗扔在了身後。
她站在大屏前,盯著那片0.5微米的完美晶格,眼神卻沒有松下來。
因為她看見了。
在主屏最下方,一塊被自動放大的微觀區域裡。
某一道細密電路的邊緣,正浮起一小片不正常的暗紅色熱斑。
不大。
只有針尖那麼一點。
卻像一根細針,刺進了她的眼底。
她沒有出聲。
只是抬起手,用指尖輕輕敲了兩下冰冷的顯微鏡外殼。
篤。
篤。
主屏右下角的工藝流程時間提示,還在冷冰冰地跳。
距離晶片蝕刻工序開始。
還剩2小時。