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第309章 手測參數注入數控大腦

2026-03-26 15:47:24 作者: 靈台三心

  陳默站在原地,一動不動。

  他低頭看著那張圖紙。看了很久。

  然後從貼身的棉襖內兜里,摸出一個油紙包。

  油紙發黃髮脆,邊角磨出了毛邊。

  打開,裡面是一本三十二開的硬皮筆記本。

  翻開硬皮封面,扉頁上用鋼筆寫著四個字:校準手記。

  字跡工整,但有幾處墨水洇開了。

  不是水漬,是汗。

  「我師傅走之前,把這個給我的。」

  陳默的手在抖。

  「這台機器每一根導軌的直線度偏差。」

  「每一個蝸輪齒的實際齒距。」

  「主光路每個透鏡組的最佳工作溫度……」

  「全在這裡面。」

  他把筆記本遞到林希手上。

  「三百九十五個參數。」

  「他量了三年。」

  陳默吸了一下鼻子。

  「他說,'留著,總有一天會有人來修它。'」

  林希接過筆記本,翻開第一頁。

  密密麻麻的數字,用鉛筆一筆一划寫成。

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  每個數據後面都標註了測量日期、環境溫度和濕度。

  有些頁面的邊角被反覆翻折,紙張已經起了毛。

  直播間安靜了幾秒。

  然後彈幕開始滾動。

  【三百九十五個參數,量了三年。這不是筆記本,這是這台機器的體檢報告。】

  【師傅熬瞎了眼睛沒解決的問題,徒弟守了三年等來了能解決的人。】

  【「總有一天會有人來修它」,,這句話我要記一輩子。】

  【我現在就一個要求:把這台機器救活!】

  林希合上筆記本。

  「陳師傅。」

  「這些參數,正好是光柵尺補償算法的輸入數據。」

  「你師傅花三年量的東西,今天全用得上。」

  陳默的膝蓋軟了一下。

  他扶住機器底座,把臉別過去。

  肩膀在抖。

  周維民站在門口,喉頭滾了兩下,扭過頭去看天花板。

  江俊走上前,輕輕拍了拍陳默的後背。沒說話。

  他也是長光所出來的人。

  有些東西不用說。

  ---

  改造從第二天早上開始。

  江俊帶著兩名紅星技術員。

  把光柵尺和伺服電機拆箱。

  陳默在旁邊看著那兩條銀白色的光柵尺,眼睛一眨不眨。

  「一微米?」

  「一微米。」

  江俊擰緊固定螺栓,

  「紅星跟長光所聯合中心的產品。」

  陳默沒再問。

  他蹲下去,開始拆工作檯側面的蝸輪箱蓋。

  扳手在他手裡轉得飛快。

  每顆螺栓擰到什麼位置鬆手,不用看,全憑手感。

  這台機器的每一顆螺絲,他都認識。

  光柵尺安裝到位後。

  江俊接通數控板電源。

  屏幕上跳出一串位置讀數。

  「X軸零位標定。」

  「陳師傅。」

  「你那本筆記上。」

  「X軸導軌在行程中點的直線度偏差是多少?」

  陳默連翻都沒翻。

  「0.8微米,偏左。」

  江俊敲入補償值。

  伺服電機嗡了一聲,工作檯微微平移。


  屏幕上的讀數跳了一下,歸零。

  「Y軸呢?」

  「1.2微米,偏下。」

  「行程末端有個0.3微米的回程間隙,要單獨補。」

  三百九十五個參數。

  陳默一個一個報,江俊一個一個錄。

  沒有人翻筆記本。

  全在陳默腦子裡。

  三年,一百八十六次保養。

  每一次保養都要重新測量、重新記錄。

  數據早就刻進骨頭裡了。

  直播間彈幕滾動:

  【這人是活的資料庫啊。】

  【三年不是白守的,他把整台機器背下來了。】

  【人形雷射干涉儀,比機器還精密。】

  下午三點,全部補償參數錄入完畢。

  江俊做最後一項測試:

  讓工作檯在全行程範圍內往返運動。

  光柵尺實時採集位置數據。

  屏幕上,一條綠色的曲線緩緩展開。

  平直。

  偶爾有微小的波動,但伺服電機在零點幾秒內就把它拉回來。

  「全行程定位精度,」

  江俊盯著數據,聲音有點發緊,

  「正負3微米。」

  陳默靠在機器旁邊,慢慢滑坐到地上。

  他沒哭。

  他笑了。

  笑著笑著,把臉埋進膝蓋里。

  ---

  光刻機活了。

  但活過來只是第一關。

  三天後,第一批試製矽片進入濕法刻蝕環節。

  刻蝕槽是陳默用不鏽鋼焊的,簡陋但乾淨。

  酸液配方按照教科書上的標準比例調配。

  第一片矽片放進去.

  計時,取出,純水沖洗,推到顯微鏡下。

  江俊看了一眼,臉色變了。

  「側蝕太嚴重。」

  他讓開目鏡,林希湊上去看。

  5微米的線條,被酸液從兩側啃進去將近2微米。

  剩下的線寬不到1微米,有些地方已經斷了。

  換配方,提高酸液濃度。

  第二片,斷線更多。

  降低濃度,縮短時間。

  第三片,溝槽底部沒刻透。

  連續三個通宵。

  十七種配方。

  沒有一片合格。

  第四天凌晨,刻蝕車間裡瀰漫著酸霧的味道。

  陳默靠在牆角打盹,江俊的眼睛布滿血絲。

  林希坐在角落,閉上眼睛。

  腦海里,直播間的畫面亮了起來。

  他把問題原原本本地說了一遍。

  彈幕沉默了十幾秒。

  然後一個ID冒了出來:【材料狗不睡覺】。

  【別用純HF。】

  【現在的光刻膠耐酸性差,純氫氟酸刻蝕速率太快,根本控不住側向鑽蝕。】

  緊接著,第二條彈幕:

  【加NH4F做緩衝劑。氟化銨和氫氟酸的摩爾比6:1,槽液溫度鎖死35度。這個配方叫BOE,緩衝氧化物刻蝕液。】

  第三條:

  【關鍵點:35度恆溫。溫度每波動1度,刻蝕速率變化8%。你們沒有恆溫槽的話,用水浴鍋套著不鏽鋼槽,溫度計插在水浴里,人工盯著。】

  第四條,另一個ID【半導體搬磚人】:

  【NH4F這東西你們1983年應該能搞到,化工廠有。純度不用太高,分析純就夠。】

  彈幕區停了一秒。

  然後齊刷刷一排:


  【大佬!】

  【材料狗永遠不睡覺,但永遠能救命!】

  【六比一!記住了!考試要考!】

  林希睜開眼。

  「陳師傅。」

  「化工庫房裡有沒有氟化銨?」


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