陳默站在原地,一動不動。
他低頭看著那張圖紙。看了很久。
然後從貼身的棉襖內兜里,摸出一個油紙包。
油紙發黃髮脆,邊角磨出了毛邊。
打開,裡面是一本三十二開的硬皮筆記本。
翻開硬皮封面,扉頁上用鋼筆寫著四個字:校準手記。
字跡工整,但有幾處墨水洇開了。
不是水漬,是汗。
「我師傅走之前,把這個給我的。」
陳默的手在抖。
「這台機器每一根導軌的直線度偏差。」
「每一個蝸輪齒的實際齒距。」
「主光路每個透鏡組的最佳工作溫度……」
「全在這裡面。」
他把筆記本遞到林希手上。
「三百九十五個參數。」
「他量了三年。」
陳默吸了一下鼻子。
「他說,'留著,總有一天會有人來修它。'」
林希接過筆記本,翻開第一頁。
密密麻麻的數字,用鉛筆一筆一划寫成。
本書首發101𝙠𝙠𝙨.𝙘𝙤𝙢,提供給你無錯章節,無亂序章節的閱讀體驗
每個數據後面都標註了測量日期、環境溫度和濕度。
有些頁面的邊角被反覆翻折,紙張已經起了毛。
直播間安靜了幾秒。
然後彈幕開始滾動。
【三百九十五個參數,量了三年。這不是筆記本,這是這台機器的體檢報告。】
【師傅熬瞎了眼睛沒解決的問題,徒弟守了三年等來了能解決的人。】
【「總有一天會有人來修它」,,這句話我要記一輩子。】
【我現在就一個要求:把這台機器救活!】
林希合上筆記本。
「陳師傅。」
「這些參數,正好是光柵尺補償算法的輸入數據。」
「你師傅花三年量的東西,今天全用得上。」
陳默的膝蓋軟了一下。
他扶住機器底座,把臉別過去。
肩膀在抖。
周維民站在門口,喉頭滾了兩下,扭過頭去看天花板。
江俊走上前,輕輕拍了拍陳默的後背。沒說話。
他也是長光所出來的人。
有些東西不用說。
---
改造從第二天早上開始。
江俊帶著兩名紅星技術員。
把光柵尺和伺服電機拆箱。
陳默在旁邊看著那兩條銀白色的光柵尺,眼睛一眨不眨。
「一微米?」
「一微米。」
江俊擰緊固定螺栓,
「紅星跟長光所聯合中心的產品。」
陳默沒再問。
他蹲下去,開始拆工作檯側面的蝸輪箱蓋。
扳手在他手裡轉得飛快。
每顆螺栓擰到什麼位置鬆手,不用看,全憑手感。
這台機器的每一顆螺絲,他都認識。
光柵尺安裝到位後。
江俊接通數控板電源。
屏幕上跳出一串位置讀數。
「X軸零位標定。」
「陳師傅。」
「你那本筆記上。」
「X軸導軌在行程中點的直線度偏差是多少?」
陳默連翻都沒翻。
「0.8微米,偏左。」
江俊敲入補償值。
伺服電機嗡了一聲,工作檯微微平移。
屏幕上的讀數跳了一下,歸零。
「Y軸呢?」
「1.2微米,偏下。」
「行程末端有個0.3微米的回程間隙,要單獨補。」
三百九十五個參數。
陳默一個一個報,江俊一個一個錄。
沒有人翻筆記本。
全在陳默腦子裡。
三年,一百八十六次保養。
每一次保養都要重新測量、重新記錄。
數據早就刻進骨頭裡了。
直播間彈幕滾動:
【這人是活的資料庫啊。】
【三年不是白守的,他把整台機器背下來了。】
【人形雷射干涉儀,比機器還精密。】
下午三點,全部補償參數錄入完畢。
江俊做最後一項測試:
讓工作檯在全行程範圍內往返運動。
光柵尺實時採集位置數據。
屏幕上,一條綠色的曲線緩緩展開。
平直。
偶爾有微小的波動,但伺服電機在零點幾秒內就把它拉回來。
「全行程定位精度,」
江俊盯著數據,聲音有點發緊,
「正負3微米。」
陳默靠在機器旁邊,慢慢滑坐到地上。
他沒哭。
他笑了。
笑著笑著,把臉埋進膝蓋里。
---
光刻機活了。
但活過來只是第一關。
三天後,第一批試製矽片進入濕法刻蝕環節。
刻蝕槽是陳默用不鏽鋼焊的,簡陋但乾淨。
酸液配方按照教科書上的標準比例調配。
第一片矽片放進去.
計時,取出,純水沖洗,推到顯微鏡下。
江俊看了一眼,臉色變了。
「側蝕太嚴重。」
他讓開目鏡,林希湊上去看。
5微米的線條,被酸液從兩側啃進去將近2微米。
剩下的線寬不到1微米,有些地方已經斷了。
換配方,提高酸液濃度。
第二片,斷線更多。
降低濃度,縮短時間。
第三片,溝槽底部沒刻透。
連續三個通宵。
十七種配方。
沒有一片合格。
第四天凌晨,刻蝕車間裡瀰漫著酸霧的味道。
陳默靠在牆角打盹,江俊的眼睛布滿血絲。
林希坐在角落,閉上眼睛。
腦海里,直播間的畫面亮了起來。
他把問題原原本本地說了一遍。
彈幕沉默了十幾秒。
然後一個ID冒了出來:【材料狗不睡覺】。
【別用純HF。】
【現在的光刻膠耐酸性差,純氫氟酸刻蝕速率太快,根本控不住側向鑽蝕。】
緊接著,第二條彈幕:
【加NH4F做緩衝劑。氟化銨和氫氟酸的摩爾比6:1,槽液溫度鎖死35度。這個配方叫BOE,緩衝氧化物刻蝕液。】
第三條:
【關鍵點:35度恆溫。溫度每波動1度,刻蝕速率變化8%。你們沒有恆溫槽的話,用水浴鍋套著不鏽鋼槽,溫度計插在水浴里,人工盯著。】
第四條,另一個ID【半導體搬磚人】:
【NH4F這東西你們1983年應該能搞到,化工廠有。純度不用太高,分析純就夠。】
彈幕區停了一秒。
然後齊刷刷一排:
【大佬!】
【材料狗永遠不睡覺,但永遠能救命!】
【六比一!記住了!考試要考!】
林希睜開眼。
「陳師傅。」
「化工庫房裡有沒有氟化銨?」