三天後,北京。
某保密會議室,氣氛凝重如鐵。
沙瑞金呈報的《關於漢東省崇明科技突破38nm光刻機核心技術的緊急報告》被擺在長桌中央。
國防科工局、工信部、中科院、國家大基金負責人圍坐一圈,人人面色肅然。
「47項底層核心專利……繞開ASML全部封鎖節點……」
一位白髮老者推了推眼鏡,聲音微顫:「這要是真的,中國晶片產業的歷史,今天就要改寫。」
會議僅持續四十分鐘,結論卻石破天驚:
一、列為國家最高級別科技機密(絕密·芯盾級);
二、成立「02專項·光刻機突擊組」,由中科院院士牽頭;
三、趙崇明所需一切資源——人才、設備、資金、政策——全國優先保障,漢東省委全力配合。
末了,一個大領導只說了一句:
「告訴那個年輕人——國家等這一天,等了三十年,這一次,我們將領先世界!」
……
……
漢東,南湖機場。
一架軍用運輸機悄然降落。
艙門打開,七位白髮蒼蒼的老者魚貫而出,身後跟著二十多名中青年學者,人人拎著筆記本電腦與厚重資料箱。
領頭者是林振邦院士——華夏半導體物理奠基人之一,86歲,拄拐而行,眼神如炬;
其側是周秉義教授——清華精密儀器系前主任,雙工件台領域泰斗;
在旁是吳啟明研究員——中科院光電所首席,浸沒式光學系統權威。
他們直奔崇明科技總部,未作休整,徑直來到了趙崇明的辦公室。
趙崇明已在門口等候。
「你就是趙崇明?」
林振邦上下打量這個24歲的年輕人,語氣不善:「聽說你聲稱掌握了38nm浸沒式光刻機全套技術?」
「是。」趙崇明平靜回應。
雖然對方語氣不善,但是,到底也是86歲的老大爺,而且,不誇張的說一句,這是真正的國士無雙。
自己客氣一點也是應該的。
林振邦問道:「你弄得這些專利,這些理論都是你弄出來的?」
「我自己也組建了一個團隊!」趙崇明笑了笑。
「好!」
周秉義一步上前,語速如電,「我問你——雙工件台在500mm/s高速運動下,如何抑制納米級振動耦合?你的磁懸浮線圈布局是幾極?反饋延遲多少納秒?」
趙崇明不假思索:「六極Halbach陣列,主動阻尼+預測控制,延遲≤12ns。」
吳啟明立刻接話:「浸沒流體在晶圓邊緣的Marangoni效應如何補償?」
「動態密封環+局部溫度梯度調控,附圖見白皮書第38頁。」
「光學像差校正用Zernike多項式到幾階?」
「36階,實時疊代,每曝光場更新一次。」
七位老教授輪番發問,問題從材料熱膨脹係數到雷射脈衝時序,從真空腔體殘餘氣體分析到潔淨室氣流組織——
整整三個小時,趙崇明對答如流,無一遲疑。
林振邦盯著他,震驚了。
這小子知道的東西也太雜了吧?
雜也就算了。
關鍵是,每一樣都還是對答如流,很深入。
都可以給你延伸的往外聊。
光學,材料學,他都懂。
而且,都知道的很深入。
隨便一門學科,這小子都能給你哪弄一個博士學位。
關鍵是……
資料上說,這小子才是碩士。
周振邦忽然顫聲問:「孩子……這些知識,你從哪兒學的?」
趙崇明早有準備,微笑道:「我在美帝學習期間,我導師是ASML前首席架構師,私下給我看過一些非涉密設計文檔。回國後,又花了一點時間反向推演、實驗驗證。」
身份也是系統給自己安排的。
至於自己為什麼懂這麼多。
也是系統強行灌頂。
差點沒把趙崇明給折磨的死去活來。
這大半年的時間,趙德漢在漢東處理政務,趙崇明也沒閒著,一直都在拉團隊,申請專利版權,這也是弄得差不多了,才把光刻機拿出來。
倒是沒想到,這幫老教授一過來,就對著自己開始三百六十五度無死角的狂轟亂炸。
這要不是系統把知識灌頂給了自己,他還真是沒法回答。
但是,現在回答的多了,反倒是讓這些老教授們傻眼了。
「天才啊!」
老教授們面面相覷,眼中的懷疑全部消失,更有難以抑制的狂喜。
這是絕對的天才。
瞬間,老教授們就把趙崇明歸納為同類。
錢老都說了,人再笨,還能學不會微積分嗎?
隨後,趙崇明帶他們走進實驗室,掀開防塵罩——
一台銀灰色光刻機原型靜靜矗立,鏡頭組泛著幽藍冷光。
「這是……工程樣機?」周秉義聲音發抖。
「是初代驗證平台。」
趙崇明點頭。
其實,系統給了他一個完整的,不過,現在這個階段,趙崇明還是只能先弄一個不是那麼完整的,先按照系統給的技術,一比一完完整整的復刻出來。
系統有一點好,自己需要什麼,能購買什麼,都給你羅列的清清楚楚,甚至需要購買哪家公司的設備,都給你羅列傳來了。
如果沒法購買,系統還會很詳細的告訴你,怎麼設計,怎麼生產。
簡直就是手把手。
這才是沒有任何血緣關係的親爹。
趙德漢只是我冰冷無情的廢物副省長生物爹罷了。
工程樣機,問題也不大。
「下周進行首次對準測試。」
林振邦顫巍巍伸出手,輕觸機身,老淚縱橫:「我這一輩子,就盼著能摸一摸中國人自己造的光刻機……今天,終於摸到了。」
他猛地轉身,對身後學生吼道:「你們都聽好了,沒結婚給我找漢東媳婦,結了婚的把老婆孩子都搬過來,都給我留下!誰敢回北京,我就打斷他的腿!」
隨後,林振邦一臉狂熱的看著眼前的光刻機:「我要親眼看著它點亮!」
其餘教授紛紛響應:「我的團隊全調過來!」
「清華那邊我打招呼,明年所有博士生優先分配到漢東!」
「光刻膠配方我手上有,今晚就開工!」
趙崇明深深鞠躬:「歡迎各位老師。從今天起,漢東不只是一個省,是中國芯的起點。」
夜幕降臨,光明峰燈火通明。