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第一三八六章 光刻機的現狀(下)

2026-08-25 22:24:51 作者: 解剖老師

  「董事長,要是Nikon在我們之前,率先攻克157nm雷射器技術,率先研發成功65nm製程工藝的光刻機,我們如何應對?」

  CTO湯普森知道EUV光刻機不是短時間內能研製成功的,也主張兩條腿走路,GCA研究院如今也在研發157nm雷射器,由於GCA一直以研發EUV為主,157nm雷射器的技術遠不如Nikon和SVG,投資10美元,要是能夠收購SVG,拿到SVG獨有的157nm雷射器需要配置的反折射鏡頭技術,不能反超Nikon,也能同Nikon並肩齊驅。

  孫董事長不同意公司收購SVG,湯普森也不理解。

  EUV LLC聯盟規劃投資2億美元,集合200多位頂尖科學家,目的就是從理論上驗證了EUV光刻機的可行性?理論驗證完成後,EUV LLC聯盟將宣布解散,將研製EUV和EUV光刻機的難題交給GCA,據同行在一起估算,研發投資起碼要花50億美元!

  湯普森領導EUV LLC聯盟的200多位科學家,研究了2年多,還沒有驗證清楚EUV光刻機的可行性?

  「湯普森院長的擔憂也有道理,除了加強研發力量繼續研究157nm雷射器技術外,艾德里安先生可以同Papken先生接觸一下,看對方是否願意出售反折射鏡頭技術的專利?價格可以商量?」

  Papken是SVG的執行長。

  孫健本來不想在董事會上談論收購SVG的事情,但湯普森的提問代表GCA高層的疑惑,不得不正面回應。

  當時因為BSEC研究院光源研究所還沒有研發成功193nm浸沒式光刻機技術,孫健不反對GCA研究院兩條腿走路,但BSEC研究院光源研究所去年已經研發成功193nm浸沒式光刻機技術,GCA再繼續投入巨資研發157nm雷射器就是多此一舉,但也不能打擊眾人的積極性。

  「好的,董事長!」

  艾德里安心裡好奇,為什麼孫董事長不同意收購SVG?似乎對研發157nm雷射器技術不是特別支持,難道還有更好的方法?明白Papken不會低價出售反折射鏡頭技術的專利。

  「湯普森院長,EUV LLC聯盟一旦從理論上驗證了EUV光刻機的可行性後,要是GCA繼續研發EUV光刻機,理論上大概需要多少投資?」

  孫健轉移話題,也是告訴公司高層,GCA帳上的現金流不是多了,而是遠遠不夠。

  前世,EUV LLC聯盟的幾百位頂尖科學家在一起聯合研發了6年多,發表了幾百篇科研論文,從理論上驗證了EUV光刻機是可行的,目的達到,解散了EUV LLC聯盟,接下來的實際問題都拋給了ASML,面對如此高深的技術,ASML是選擇做還是不做?

  ASML一家之力不可能完成研製成功EUV光刻機這項宏偉工程,不得不拿出公司近三成的股權,向下游光刻機重要客戶Intel、台積電和三星電子融資了60多億美元!

  據說為了研發EUV光刻機,ASML前前後後在將近20年時間內投入上百億美元的研發費用。

  GCA和Nikon占據光刻機的高端市場,技術水平不分仲伯,但由於高端光刻機用戶Intel、IBM、IT、ADM、HP同GCA既是Sematech會員,又是GCA的股東,採用一致對外的策略,GCA的高端光刻機是首選,GCA如今占據全球高端市場份額的近7成,NiKon占3成多。

  在技術水平相同的情況下,市場起決定因素。

  根據光刻機技術和市場占有率,GCA如今成為名副其實的全球老大,Nikon屈居第二。

  Nikon想從GCA的手裡搶回Intel、IBM、IT、ADM、HP的高端光刻機訂單,只能率先攻克193nm波長的世界性難題,第一個研發成功65nm製程工藝的光刻機才有可能。

  在Nikon技術領先的情況下,Intel、IBM、IT、ADM、HP就會以公司的利益為重。

  ASML的工程師瓊斯帶領20多人的研發部門經過3年多時間的研發,於1996年9月,研發成功全球第二款具有自主智慧財產權的光刻機雙工作平台系統,但為時已晚,ASML和其他光刻機公司都購買了BSEC的專利技術,自己生產光刻機雙工作平台系統,BSEC負責升級;除了GCA,其他公司生產一台光刻機需要繳納相當於每台光刻機售價1%的專利使用費。

  GCA如今已經升級配套90nm製程工藝的磁懸浮式雙工作檯系統技術,遙遙領先於ASML的技術,按照專利技術轉讓協定,BSEC交給了Nikon、ASML、Canon和SVG。


  全球光刻機用戶已經習慣使用BSEC磁懸浮式雙工作檯系統技術,ASML在中高端光刻機上還是使用BSEC的,在低端光刻機上使用自研的。

  魏建國等BSEC的高層們都敬佩孫董事長的遠見卓識,1999年度,公司光靠這項全球領先的公司發明專利,收取的專利技術轉讓費就達到公司淨利潤的16.5%,這些年賺得盆滿缽滿。

  ASML先後在阿姆斯特丹和納斯達克上市,研發資金有了保障,去年10月,第三個研發成功180nm製程工藝的光刻機,技術水平排在Canon的前面,憑藉歐洲和韓國光刻機市場,占據全球中高端市場5成的市場份額。

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  第三大股東飛利浦公司不看好ASML的發展前景,加上公司電器業務出現問題,造成資金緊張,在高位逐漸清空了ASML的股票,退出了董事會,蔡司集團成為第三大股東。

  ASML如今總股本增加到萬股(去年10送5股),TIC持有2250萬股,占股15%,這些年沒有買也沒有套現。

  ASML在納斯達克市場上的股票收盤23.5美元,TIC持有的股票市值萬美元,1993年,TIC投資了1800萬美元,賺了28倍多!

  TIC要是在1993年在道瓊市場上投資1800萬美元購買GCA的股票,在今年3月前套現,可以賺329倍!

  在孫健的眼裡,ASML不僅是一個投資品種,也是一個備胎。

  「孫總,據大家私下估算,沒有50億美元的投入,看不到EUV光刻機的影子。」

  湯普森感覺壓力巨大,孫董事長似乎知道研究EUV光刻機的重要性和難度,投入巨資,最後失敗了,GCA可能要破產!

  眾董事也是一臉驚訝,這是第一次從湯普森的口裡得知,即使EUV LLC聯盟驗證EUV光刻機的可行性,GCA繼續研發EUV光刻機,起碼還需要50億美元的研發投入!

  一旦失敗,對GCA將造成毀滅性的打擊,但孫董事長似乎並不擔心。

  


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