圓桌討論的第一個議題就是MEMS製造的核心工藝。
趙建成通過視頻連線從崑山參加了討論——蘇辰特意安排了這一點，因為在座的學術大佬們雖然理論功底深厚，但對一線的MEMS製造現狀了解有限。
趙建成的匯報簡潔而專業：
"目前鴻遠微系統的產線現狀——SÜSS步進光刻機一台，牛津儀器刻蝕機一台，萊寶薄膜沉積設備一套。4英寸全套MEMS流程。"
"產線升級計劃——新增一台SÜSS MA200步進光刻機，將光刻精度從2微米提升到0.5微米。新增一台DRIE深矽刻蝕設備，實現高深寬比矽通孔刻蝕。薄膜沉積設備升級到能做AlN壓電薄膜。"
"預計三到四個月完成升級。"
聽完趙建成的匯報，清華的孫教授第一個開口了：
"趙工，你說的DRIE設備——牛津儀器的最新款有出口管制，你們買到的是哪個型號？"
"上一代的PlasmaPro 100 Estrelas。"趙建成說，"最新款確實受限，但上一代沒有管制問題。性能上差一些，但經過參數優化後能滿足我們的需求。"
"差多少？"孫教授追問。
"深寬比方面，最新款能做到30:1，上一代大概在20:1左右。但我們第一步目標對標BMI270，20:1已經足夠。"
"但第二步呢？"孫教授的眼神變得銳利起來，"你們要做超越村田SCR1100的高精度陀螺儀——那種結構對DRIE的深寬比要求至少要25:1以上。上一代設備做不到。"
趙建成沉默了一秒。
這時候蘇辰開口了：
"孫教授說得對。這正是我想在今天的討論中提出的核心問題。"
蘇辰站了起來。
"MEMS的製造工藝，傳統路線有兩條——表面微加工和體矽微加工。"
"表面微加工成本低、產能高，但精度有天花板——這是目前大部分消費級MEMS的主流工藝。"
"體矽微加工精度高、可靠性好，但工藝複雜、成本高——這是軍工級MEMS的主流工藝，也是村田SCR1100使用的工藝基礎。"
"如果我們走傳統路線——先做表面微加工，再逐步過渡到體矽微加工——至少需要三到五年。"
"但我的想法不一樣。"
蘇辰在白板上畫了一個簡圖：
"我建議跳過純表面微加工路線，直接走體矽+SOI（絕緣體上矽）混合工藝路線。"
會議室里立刻出現了交頭接耳的聲音。
上海微系統所的錢研究員第一個提出了質疑：
"蘇總，SOI混合工藝在國際上也只是在實驗室階段有過驗證。意法半導體和博世都還沒有在量產線上全面採用。你們一條4英寸的產線，直接上SOI混合工藝——風險是不是太大了？"
"而且SOI晶圓的成本是普通矽晶圓的五到八倍。"錢研究員補充道，"你們的資金能承受嗎？"
面對質疑，蘇辰沒有著急。
"錢老師說的風險確實存在。但我想換一個角度來看這個問題。"
"如果我們走傳統路線——表面微加工→體矽微加工→最終才觸及SOI混合工藝——至少要三步走，每一步至少一到兩年。"
"但如果我們直接從SOI混合工藝切入——雖然第一步的門檻更高、風險更大，但一旦突破，我們將直接站在和國際巨頭同一代工藝的起跑線上。"
"不是追趕。而是平起平坐。"
"這和鴻遠一貫的風格一致——我們從來不按別人走過的路再走一遍。"
清華的孫教授若有所思地點了點頭。
但周建華院士的表情依然很平靜，看不出支持還是反對。
這時候，趙建成在視頻里插了一句話：
"如果要走SOI混合工藝路線，DRIE的深寬比問題確實是瓶頸。但我想說一件事——"
"我剛從微感半導體過來，之前做過類似的DRIE參數優化。同樣的設備，通過調整刻蝕氣體比例、循環參數和基台溫度，深寬比可以從標稱的20:1提升到24:1左右。"
"而且——"
趙建成頓了頓：
"我剛招到了一位叫陳國棟的老師傅。52歲，在DRIE工藝上有三十年經驗。他的手感和經驗，能讓同樣的設備發揮出不一樣的性能。"
"手感？"周院士終於開口了，語氣中帶著一絲好奇。
"是的。"趙建成說，"這個人對矽片的理解已經到了直覺層面。別人需要用顯微鏡才能看到的晶圓缺陷，他用手指摸一下就能感覺到。同樣的設備、同樣的工藝參數，他調出來的良品率能比別人高20%。"
"在MEMS工藝領域，經驗有時候比設備更重要。"
會議室里安靜了幾秒。
然後周院士說了一句意味深長的話：
"'工藝know-how的核心載體是人，不是時間'——原來你不是隨便說的。"
蘇辰微微笑了。
"周院士，我說的每一句話都不是隨便說的。"
周院士看了蘇辰幾秒，然後緩緩點了點頭。
"SOI混合工藝路線——我支持。"
這句話一出，會議室里的氣氛立刻變了。
周建華院士是中國MEMS領域的絕對權威。他的支持，對於在場的每一個人來說都有巨大的分量。
"不過——"周院士話鋒一轉，"SOI晶圓的來源問題你怎麼解決？國內目前能做高質量SOI晶圓的企業屈指可數。"
"這也是我提出設立國家MEMS重大專項的原因之一。"蘇辰說，"SOI晶圓、AlN壓電薄膜、高純度矽基材料——這些基礎材料的國產化，不是一家企業能解決的，需要全行業協同。"
"鴻遠可以做先鋒，在應用端和工藝端做突破。但基礎材料端，需要國家層面的布局。"
周院士點了點頭，然後看向了副部長鄭維國。
鄭維國一直在認真聽，此時他緩緩開口了：
"蘇辰的建議，和我們內部的判斷是一致的。"
"MEMS傳感器是低空經濟的心臟，也是萬物互聯時代的基礎器件。這個領域的自主可控，已經不再是一個選擇題，而是一道必答題。"
"關於設立國家MEMS傳感器重大專項的事——"
鄭維國停了一下，看了一眼全場：
"我今天可以表一個態。"
"專項的事情，我們電子信息司已經在推。今天這個座談會，就是專項前期調研的一部分。"
"但今天聽了蘇辰的匯報之後，我覺得這個專項的力度還需要加大。"
"我有幾個初步的想法——"
鄭維國豎起了手指，一點一點說道：
"第一，組建國家MEMS傳感器聯合攻關組。由中科院微電子所牽頭，聯合清華微納所、上海微系統所、鴻遠微系統等單位，圍繞MEMS慣性傳感器的核心工藝進行聯合攻關。"
"第二，設立MEMS傳感器專項基金。初步規模不少於5億元，支持從基礎材料到工藝設備到產品量產的全鏈條研發。"
"第三，建立MEMS關鍵設備進口綠色通道。對於MEMS製造所需的DRIE、光刻機、薄膜沉積設備等，在出口管制範圍內儘可能加快審批流程。"
"第四——"
鄭維國看向了蘇辰：
"鴻遠微系統的產線，作為聯合攻關組的產業化驗證基地。科研機構的設計成果，優先在鴻遠的產線上進行流片驗證。"
"蘇辰，你願意嗎？"
"當然願意。"蘇辰毫不猶豫地回答，"我在匯報里說了——鴻遠的產線、市場和資金，全部向聯合攻關開放。"
"好。"鄭維國點了點頭。
然後他看向周院士："周老，聯合攻關組的學術方面，還得請您牽頭。"
周院士沉默了幾秒，然後緩緩說道：
"我今年七十三了。本來打算明年就退了。"
"但今天聽了這個年輕人的話——"
他看了蘇辰一眼：
"退休的事，再推遲兩年吧。"
會議室里響起了一陣笑聲，緊接著又是熱烈的掌聲。
周院士接著說：
"我手底下有12個博士生和30多個碩士研究生。其中做MEMS慣性傳感器方向的有8個博士和15個碩士。這些人我可以帶到聯合攻關組裡來。"
"不過——"周院士話鋒一轉，語氣變得嚴肅，"蘇辰，我有一個條件。"
"周院士請說。"
"聯合攻關的成果，核心專利必須掌握在中方手中。不管鴻遠將來怎麼發展——融資也好、上市也好、引入戰略投資者也好——MEMS自主化的核心技術專利，不能落到外資手裡。"
"這一點，你能保證嗎？"
蘇辰站起來，鄭重地說：
"周院士，我保證。鴻遠MEMS自主化的所有核心技術專利，永遠屬於中國。這是我蘇辰的底線，也是鴻遠的底線。"
周院士注視了蘇辰幾秒。
然後他點了點頭。
"好。那我就陪你走一程。"
"啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪……"
掌聲再次響起。
這一次比剛才更加熱烈。
因為所有人都清楚——周院士的加入，意味著整個中國MEMS學術界最強的力量，將和鴻遠這個產業界的先鋒匯合。
這不再只是一家企業的MEMS自主化。
這是一場舉國協作。
規模雖然比不上"兩彈一星"，但決心和格局，與當年一脈相承。
……
會議一直開到了下午五點多才結束。
結束後，蘇辰和周院士單獨聊了十幾分鐘。
"蘇辰，我有一句話想問你。"周院士靠在椅子上，語氣很隨意，像是長輩在和晚輩聊天。
"您請說。"
"你今天說的那個'兩步走'戰略——第一步對標博世BMI270，第二步超越村田SCR1100。"
"第一步我相信你能做到。你有產線、有團隊、有市場，而且BMI270的性能指標不算極端。半年到一年，問題不大。"
"但第二步——超越SCR1100——你心裡到底有多少把握？"
蘇辰沉默了幾秒。
在周院士面前，他不想說場面話。
"周院士，如果只靠常規的研發路徑——我的把握不超過30%。"
周院士微微挑了挑眉。
30%——這個數字比他預想的還低。
"但——"蘇辰說，"我有一些想法和技術方向，目前還不方便透露。等第一步完成後，我會和您詳細討論。"
周院士看著蘇辰的眼睛，沉默了幾秒。
他在蘇辰的目光中看到了兩樣東西——
一樣是坦誠。30%的把握，這不是一個虛偽的人會給出的數字。
另一樣是自信。那種"30%只是表面數字，實際底牌不止於此"的自信。
"好。"周院士站起來，拍了拍蘇辰的肩膀，"我等你第一步的結果。"
"第一步做到了——第二步我們再好好聊。"
"謝謝周院士。"
"別謝我。"周院士笑了笑，"我是為了中國的MEMS，不是為了你蘇辰。你要是讓我失望了——我可不留情面。"
"不會讓您失望的。"
周院士看著蘇辰的背影走出會議室，輕聲說了一句——
"但願如此。"
……
當天晚上，蘇辰在北京的酒店裡，收到了方旭發來的一條消息。
"蘇總，啟明創投的王明輝今天主動打電話過來了。"
"他說了什麼？"蘇辰問。
"他說看了新聞聯播的報導，又看了工信部座談會的消息，重新評估了鴻遠在MEMS產業鏈上的位置。"
"然後呢？"
"67%控股的方案——他同意了。"
蘇辰看著手機屏幕，嘴角微微上揚。
一切都在按計劃推進。
不——比計劃推進得更快。
工信部的MEMS重大專項、周院士的聯合攻關組、啟明創投的67%控股——三件事幾乎在同一天塵埃落定。
這不是巧合。
這是四年積累到了一個臨界點後，自然而然的連鎖反應。
蘇辰放下手機，走到窗前。
北京的夜空不像深圳那樣燈火輝煌，但能看到遠處長安街上的車流，像一條金色的河流在黑暗中緩緩流淌。
他想起了今天會議室里的場景——
那些院士、教授、博士們的眼神。
從最初的審視和懷疑，到後來的認可和期待。
他突然有一種感覺——
這不再只是他一個人的戰爭了。
從今天開始，整個中國的MEMS力量都站在了他的身後。
這種感覺讓他心生豪邁。
就像原小說里的林軒站在中科院的大型會議室里，看著上千名科研人員時的那種感覺——
不對。
蘇辰搖了搖頭。他不能用"原小說"的思維來思考問題。
這是他自己的人生。
他蘇辰的人生。
"好了。"蘇辰深吸一口氣。
明天飛回深圳，要做的事情還有很多——
張磊那邊"六顆版"飛鳥S1的量產切換要盯著。
趙建成崑山產線升級要持續推進。
陳國棟的入職手續要落實。
微芯傳感67%控股的正式簽約要儘快安排。
周院士聯合攻關組的人員對接和工作計劃要敲定。
光明區8000平方米用地的MEMS研發中心建設要啟動。
六條線，同時推進。
任何一條出了問題，整盤棋都可能崩盤。
但蘇辰不怕。
因為他從來都是在鋼絲上跳舞的人。
……
而在蘇辰酒店房間的窗外，在他看不到的地方——
一封加密郵件正在跨越太平洋。
發件人的地址指向東京。
收件人是航信達通科技的賀志強。
郵件的正文只有一句話：
"村田已確認，將配合執行第二階段方案。"
賀志強在北京的辦公室里看到這封郵件時，露出了一個陰冷的笑容。
他拿起手機，給大疆的陳嘉銘發了一條消息：
"第二階段啟動。目標——鴻遠的MEMS設備供應鏈。"
三秒後，陳嘉銘回復了兩個字：
"收到。"