一直到下午五點多，在兩位大師傅的主導下，機組才被穩穩地安置在預定位置。
到此工作也沒結束，有沈永健指揮著連接冷媒銅管，冷凝水排水管以及與空氣系統相連的專用淨化風管。
曹俊則跟著錢田寶，將機組的控制線纜接入車間的總控配電櫃中。
又是約莫半個小時，空調機組才真正安裝到位。
屋內一番打掃調整後，由杜師傅按下電源開關，空氣系統與空調都運作起來。
採用渦旋式壓縮機，整個空調的聲音很輕，也沒什麼振動。
如今就等車間內裝好溫度、濕度等測控儀器後，觀察最後的效果。
「怎麼樣？民用化的改進有想法麼？」
趁著這時間沈永健詢問起薛福根。
距離這空調圖紙給到廠里也有半月，薛福根早有過琢磨，這會兒點頭回應道。
「老師，民用版本的話從成本考慮，我準備選擇活塞式壓縮機。」
活塞式壓縮機，目前全球都最為成熟的方案，也是成本最低的選擇。
只是沈永健笑著搖了搖頭，直截了當地點明道。
「你思考下轉子式壓縮機。」
…
「轉子式？」
沈永健點了點頭，耐心地為他剖析起其中的利弊。
「轉子式壓縮機在國際上早有出現，整體結構相對簡單，零部件更少，體積也能壓縮，比起活塞式要合適的多。」
「雖然對加工精度有一定要求，但不需要像渦旋式那樣依賴極高精度的五軸聯動設備。」
「以咱們國內目前的實際生產條件，以四軸數控工具機為加工主體就完全足夠了。」
「效控制製造成本的同時，在價格和性能上也更有競爭力。」
薛福根若有所思地聽著，腦海中已經開始盤算起轉子式壓縮機的工藝路線與成本核算。
見他聽進去了，沈永健繼續引導道。
「在產品形態的選擇上，我建議你先主攻壁掛式分體式空調。」
「這種空調體積小、不占地，安裝也相對方便，最契合普通家庭的居住環境。」
「等你把壁掛式分體機的技術徹底吃透，還可以嘗試進行變頻設計…」
這趟來一邊是完成光刻機研製環境的搭建，一邊也主要是給薛福根做啟發。
既然都有工業領域使用的空調了，民用空調也可以試著研製起來。
空調這東西如今對國內而言，理論上的研製難度不高。
國內如今的工業技術積累，初步的產品研製不是問題，難的是對技術的整合與設計，如同他最早的六燈管收音機一般。
又因為國內本身暫無民用空調的市場，對薛福根而言其實設計難度會更高。
沈永健也儘可能替他開拓思路，將大致的空調想法托出。
尤其是日後的變頻空調，也儘可能地先讓薛福根有個印象。
一旁的曹俊原本也豎起耳朵聽著，不過因為不明白的地方太多，很快就雲裡霧裡，完全聽不進去。
又是一個多小時。
屋內牆壁上掛載的幾台高精度測控儀上，傳感器數值一直在微微跳動。
起初，溫度曲線還在小幅波動，但隨著渦旋式壓縮機的持續平穩運轉，數字漸漸趨於平緩。
「21.61℃…21.65℃…22.01℃…」
溫度算是屋內環境最重要的一項指標，直至穩定在22度左右開始停下，上下起伏在0.02度之間，濕度計也穩定在48%，這台精密空調機組算是達到預期。
邊上的空氣潔淨度檢測儀上，微小顆粒物的數值也再度直線下降，這讓錢田寶與曹俊二人也鬆了口氣。
兩次試驗，兩次都沒掉鏈子。
一切調試結束，沈永健也留在廠里陪大家吃晚飯。
廠里的小灶師傅似乎早就有準備，必不可少的紅燒肉外，其他菜色也很豐富。
…
一連又是三天的測試。
空調機組與空氣系統機組都完全符合預期。
沈永健也再次前來廠里，進行最後的光刻機升級工作。
車間外的審核與保衛同志多了好幾位，正嚴格檢查著入車間觀摩的人員。
主要就是多了幾位技術部和研發處的優秀骨幹。
這也是沈永健專門提的，光刻機技術保密要求高不假，但對於核心培養的技術人員還是要放寬。
前兩代的光刻機升級研製屬於特殊，畢竟當時研究微電子的也就那麼些人，真正能看懂光刻機大致理論的人都寥寥無幾，也沒什麼必要。
如今微電子廠主要進行集成電路的光刻生產，這些年下來也有一批優秀的同志脫穎而出。
對於改進新一代光刻機的觀摩機會，沈永健自是希望新的同志能好好實際感受學習，而不是停留在紙面上。
且這次連帶微電子所本身也來了好幾位同志。
包括卓邵文與他的幾位學生，包括沈永健自己帶的學生。
新四車間內，眾人靜靜看著沈永健與卓邵文以及兩位大師傅檢查所有的零配件。
偌大的車間極為安靜，許多第一次見沈永健的技術員，當下甚至能聽到自己的心跳和呼吸。
同時儘可能地平復著心情，知曉像今日這種機會難得，不敢打擾裝配。
而防靜電地板上的四人，穿著嚴密的無塵服，隨著沈永健完成最後確認，便開始正式裝配。
幾人對於光刻機都是老行家，哪怕杜師傅是第一次參與裝配，但通過這些年部分光刻機故障的維修經驗，當下動作都行雲流水，沒有絲毫停頓。
「氣浮導軌水平度微調完畢，直線電機定子鎖緊。」
劉師傅盯著手中的高精度水平儀，聲音透過口罩傳出。
杜師傅負責矽片台的安裝，這會兒扭矩扳手剛剛放下，配合著劉師傅對掩模台等設備的聯通裝配。
沈永健這會兒也加入了二人的組裝工作，將才研製完成的雷射干涉儀安裝在關鍵位置。
由於零配件眾多，且安裝步驟極為複雜，每次安裝到一定程度，還需要進行檢驗與修正，使得整個安裝花費時間不少。
從上午八點到下午六點，中間一共短暫休息了四次，這台嶄新的步進掃描光刻機才正式安裝完成！