大半年的時間轉瞬即逝。
鄭東新區，長天光學實驗室地下核心實驗區。
穿過三道除塵風淋室，實驗室內常年保持著恆溫恆濕的嚴苛環境。
王立國穿著厚重的全封閉防靜電服，雖然隔著口罩，但依然能看出他眼底布滿血絲的疲憊，以及根本按捺不住的狂喜。
在他面前的超精密減振台上，安靜地放置著一個高達近一米、重達數百公斤的金屬圓筒。
這並不是什麼普通的金屬疙瘩，而是代表著人類光學製造工業皇冠上的明珠——光刻機投影物鏡系統。
「許總，我們成了。而且，比國家02專項原定的節點，還要快得多！」
王立國深吸了一口氣，對著身旁同樣穿著防靜電服的許晨說道，聲音因為過度興奮而有些沙啞。
許晨看著眼前的金屬圓筒，眼神明亮：「王院士，這就是咱們這大半年來，日夜不停加工出來的心血？具體參數走到哪一步了？」
王立國點了點頭，拍了拍金屬圓筒匯報導：「許總，其實國家在光刻機研發上早就布局了。按照原本的進度，國內這兩年也就是勉強摸到90納米節點的門檻，而且良品率和穩定性一言難盡。」
「但是，您弄回來的那台漢斯原廠極精密設備，加上天宇不計成本的資金砸下去，徹底打破了物理加工的瓶頸！目前擺在您面前的，是我們打磨出的國內最高水平的ArF（氟化氬）乾式光刻機投影物鏡系統。它的數值孔徑（NA），硬生生被我們推到了0.85！」
看到隨行的天宇高管面露疑惑，王立國主動用通俗易懂的話解釋起來。
「各位，光刻機的工作原理，就像是我們小時候玩的幻燈片投影儀。咱們的晶片圖紙就畫在幻燈片上，光線穿過這幾十片鏡片，把龐大的圖紙成比例縮小，精準地印在矽晶圓上。」
「如果說造航母是宏觀工業的巔峰，那這玩意兒就是微觀工業的神跡。想像一下，你要把整個帝都市的詳細交通地圖，一比一不差分毫地畫在一粒大米上。這套物鏡，就是那支用來畫圖的筆。」
王立國指著金屬筒：「因為圖紙縮得太小了，光線穿過玻璃時會發生畸變。這套NA 0.85的鏡頭裡，每一片鏡片的表面平整度誤差，被我們磨到了亞納米級別！什麼概念？如果把這片鏡片放大到整個地球那麼大，它表面的起伏高低，連一根頭髮絲的厚度都不到！」
隨行的高管們聽得倒吸了一口涼氣。
王立國繼續說道：「乾式光刻機的物理極限NA是0.93。咱們這套NA 0.85的鏡頭，已經完全能夠支撐65納米工藝節點的晶片量產！如果配合上晶片廠的多重曝光技術，它甚至能去摸一摸45納米的門檻！這比國家原定的90納米目標，整整跨越了一個大台階！」
「好！太好了！」許晨拍了拍王立國的手臂，「能把NA 0.85的乾式物鏡做出來，這就是咱們的入場券。先把65納米的底子夯實，下一步咱們直接加水，去搞NA 1.35的浸沒式物鏡，向28納米衝刺！」
許晨轉頭看向身後的陳立峰：「給王院士團隊的所有研發人員發獎金！從晨宇資本帳戶里撥五千萬出來，作為這次攻克物鏡系統的專項獎勵！」
「我替同事們謝謝許總！」王立國也不客氣，搞科研的也是人，不僅要講情懷，更要講真金白銀。
……
許晨離開長天光學的無塵車間。
回到天宇集團總部的辦公室，許晨脫下外套，喝了一口水。
晨宇資本負責人陳立峰一同進入。
當初去長春找王立國談判，就是陳立峰帶著法務部骨幹一路跟進的。
許晨坐下，目光轉向陳立峰，「我之前交代你的另外兩件事，目前進展怎麼樣了？」
造光刻機，有三座大山。
光學物鏡系統、超精密雙工作檯、核心光源。
許晨早就知道，國家在2016年其實已經出了不少成果，但很多都停留在實驗室階段，缺乏商業化量產的穩定性。
光靠一個長天光學，造不出完整的光刻機。所以在投資長春光機所後，他立刻讓陳立峰帶著資金，去國內尋找另外兩座大山的頂尖團隊。
「許總，按照您的指示，這兩條線這大半年來我一直在親自跟進。」
陳立峰打開厚厚的公文包，拿出了兩份絕密的文件遞給許晨，「有了天宇的資金支持，他們的研發進度同樣比國家原定的計劃提前了一大截。」
「首先是超精密雙工作檯。」陳立峰指著第一份文件，「我們找到了水木大學的朱建平教授團隊。我們砸了6個億進去，聯合水木大學，成立了天卓精密控制技術有限公司。」
陳立峰翻開報告：「許總，光刻機在曝光的時候，底下承載矽片的工作檯需要飛速移動。這就好比，您需要在一列時速三百公里的高鐵上，不僅要用針去穿線，而且每次穿線的誤差不能超過一根頭髮絲的萬分之一。」
「更變態的是，為了提高效率，現在都是雙工作檯。一個台子在底下測量，另一個在上面曝光。等曝光完了，兩個台子還要在極其狹小的空間裡瞬間互換位置，期間不能有任何震動。」
陳立峰指著報告上的數據，語氣激動：「原本朱教授團隊在實驗室里只有初代樣機。但這大半年來，天卓精密直接搞出了商業量產級別的工程機！在高速運動下，咱們晶圓台的定位精度已經壓縮到了驚人的1.5納米！雙台交接的同步延遲幾乎為零，徹底打破了阿斯麥（ASML）在這項專利上的壟斷！」
許晨滿意地點了點頭：「1.5納米的精度，這比原計劃快太多了。這台子穩，咱們的光刻機跑得就快。那雷射那邊呢？」
陳立峰翻開第二份文件：「光源這邊，我們盯上的是中科院光電所的鄭勇博士團隊。聯合光電所以及國內幾家半導體材料企業，我們控股組建了天虹雷射科技股份有限公司。」
「光刻機的光源，可以說是雕刻晶片的那把『刀』。」陳立峰解釋道，「我們不能用普通光，波長太大刻不細，必須用深紫外雷射。這就好比在一粒米上刻字，必須用最細的手術刀。」
「但這把手術刀其實是個閃光燈。它需要在一秒鐘內連續閃爍幾千次，而且每一次釋放的能量必須絕對一樣，不能多一絲一毫，否則刻出來的電路就會深淺不一、導致短路。」
......