2005年10月25日,周二。
上海。浦東張江。測試中心。
第二輪聯合測試。目標只有一個——驗證連續運行穩定性。
趙強的預測補償模型昨天刷入固件。杜建國說"他加了點東西",林遠知道那是什麼。現在要用數據證明。
"全速模式,連續一百輪掃描。"林遠說。
杜建國深吸一口氣,按下啟動鍵。
工件台開始連續運動。光源脈衝穩定點亮。光學系統同步採集。整個無塵室里只有設備運轉的低鳴。
"第一輪。一點六五納米。"
和昨天首次測試一樣。 基準值穩住了。
"繼續。"
每輪掃描三十秒,間隔五秒數據回傳。一百輪,五十分鐘。所有人盯著數據屏。前二十輪波瀾不驚。
第十輪。一點六八。
第二十輪。一點七零。
杜建國稍微鬆了口氣。模型在起作用。
第三十輪。一點七三。
緩慢上升。熱漂移開始累積了。
第四十輪。一點七八。
跳了一下。杜建國緊張地看向林遠。
林遠搖頭。看模型。別急。
第五十輪。一點七四。回落趨勢出現了。
趙強的預測補償開始介入。在漂移將要失控的拐點,參數自動微調,提前半拍壓下去。
第六十輪。一點七三。
第七十輪。一點七零。
漂移被摁住了。
杜建國盯著屏幕,嘴巴微張。他做了三年工件台,從來沒見過系統自己把自己"拉回來"。
"他在漂移之前就算好了補償方向。"林遠低聲說,"不是等出了問題再修,是預判問題、提前消滅。"
給系統裝了神經反射弧。
第八十輪。一點七一。
第九十輪。一點七二。
第一百輪。
數據定格。
"最終結果:一點七二納米。一百輪全部在二納米指標線以內。"
杜建國摘了安全帽。手撐著工作檯,半天沒說話。
三年。從被人罵"異想天開",到被同行嘲笑"痴人說夢",到今天——一百輪全過。
"漂移曲線收斂,不是發散。"杜建國終於開口,聲音有點啞,"系統在自穩定。這不是偶然——是可控的。可重複的。工程上站得住腳的。"
一點七二納米。一百輪。全部達標。
林遠拍了拍杜建國的肩。沒多說。
數據說明一切。一點六納米不是一次奇蹟,是可以持續維持的工程狀態。趙強的模型,就是那個把"實驗室奇蹟"變成"可重複工程"的關鍵。
杜建國擦了把臉,轉身對團隊說了句:"一百輪全過。各位,辛苦了。"
沒有人鼓掌。但每個人的眼眶都紅了。
同一時刻。華盛頓。鏗騰總部。
董事會。
布朗走進會議室。七位董事已經落座。
謝弗作為BIS代表坐在長桌對面。這個座位本身就是態度——他沒有迴避,選擇正面應對。
布朗打開投影。
"各位,十二頁報告的結論濃縮為三頁。請給我十五分鐘。"
沒有人反對。
第一頁:過去兩年管制評估的技術基線。以及——蜂鳥情報驗證結果。
兩個字:不實。紅色高亮。
謝弗面無表情。手指在桌面下敲了一下。坐在他旁邊的威爾遜注意到這個細節——但沒吭聲。
第三頁:基於不實情報做出的管制決策,在法理上存在重大瑕疵。
布朗的聲音很平穩,像在念一份財務報告。但每一頁都扎在謝弗的政策框架上。
第五頁:評估方法論的根本缺陷。"線性外推法"沒有區分實驗室數據與量產能力,導致管制閾值設置過低。
謝弗抬起頭。這是他今天第一次正面看向布朗。"這個方法論是你自己發明的?"
"是威爾遜的技術附錄第三十七段。"布朗沒看他,翻到下一頁,"建議謝弗先生讀完再發表意見。"
第七頁:鏗騰32納米項目受影響時間表。維持現行管制——延期十八個月,市場份額下降百分之十二。
布朗掃了一圈:"這不是地緣政治問題。是商業判斷。我們花了兩百萬買假情報,然後用假情報做了兩年的政策依據。現在有人告訴我這叫'審慎'——我只管這叫失職。"
會議室里有人低聲議論。
謝弗終於開口,聲音不高但每個字都帶著刺:"你在用一個二十歲學生的數據,賭整個公司的戰略方向。"
布朗轉身,正面對上他。
"不是賭。是驗證。"
他翻到最後一頁。
"威爾遜的技術附錄。三大系統物理集成對準精度——一點六納米。"
他頓了一下。
"而且,就在今天,連續一百輪全速掃描測試——沒有一輪超過二納米。可復現。"
會議室安靜了三秒。
所有董事看向謝弗。
謝弗靠回椅背,雙手交叉。"實驗室數據不等於量產能力。這一點,在座的每個人都清楚。"
"而你們過去兩年提供的,"布朗接上,"連實驗室數據都不是——是假情報。"
這句話像刀子。
一位獨立董事清了清嗓子:"兩位。我們需要的是建設性方案,不是互相指責。謝弗先生——BIS的立場到底是什麼?"
謝弗沉默了五秒。
"我會提交書面說明。"
站起來,拿了文件夾,轉身離開。門在身後關上。
布朗看著那扇門。他知道謝弗不會認輸——但今天的董事會,他已經拿到了他想要的。
獨立董事投票:五比一。32納米項目加速推進授權——通過。
當天。上海。
林遠坐在測試中心辦公室。
手機亮了。趙強只發了一條。
"百輪數據已歸檔。模型有效。"
八個字。沒有感嘆號,沒有多餘的話。趙強的風格永遠是這樣——用最少的字傳遞最關鍵的信息。
林遠回了兩個字:"收到。"
想了想,又加了一句:"幹得漂亮。"
趙強沒回。但林遠知道,他看到了。
他拉開抽屜,取出一個牛皮紙文件袋。裡面是團隊三年工作的全部記錄——從第一版白板草圖到虛擬仿真報告,從物理集成方案到今天的一百輪測試數據。四十七頁。每一頁都有修改痕跡。
他翻開封面,在最新一頁寫下:
10月25日。單次精度1.6nm。百輪全部達標。漂移預測穩定。系統可復現。
合上。放回抽屜。鎖了。
這只是開始。
一點六納米是原型驗證的數據。從原型到量產樣機——至少兩年。從樣機到產線上的光刻機——至少五年。中間還有無數個"一百輪"要跑,無數個工程細節要解決。顧明誠的光學系統需要二輪標定,精度要再壓一個台階。杜建國的工件台要出升級方案,支撐更長時間的連續運行。趙強的預測模型要擴展到更多溫度和工況條件。論文在等審稿,三個月後見分曉。
每一步都是硬仗。
但方向對了,仗就好打。
三年前,他在白板上畫了三條線——工件台、光源、光學。三條獨立的線,誰都不相信能合到一起。今天,三條線合成了一台機器,跑了一百輪,全部達標。
他站起身,拿起外套。
走出測試中心。上海的夜空難得放晴。抬頭能看見幾顆星。