2005年10月27日，周四。
上海。浦東張江。測試中心。
顧明誠已經兩天沒出無塵室了。
光學系統二輪標定。目標——把光學鏡面面形精度從0.05nm壓到更低。
"結果出來了。"顧明誠摘下眼鏡，揉了揉眼睛，"零點零三納米。"
林遠看著數據。
"穩定嗎？"
"兩次獨立標定，結果一致。"顧明誠喝了口水，"但0.03是單鏡面的精度。整個多鏡面系統疊加之後，累積誤差會更大。不過——比0.05給了我們更大的餘量。"
更大的餘量。林遠點點頭。
原來光學系統的餘量是0.5nm。現在變成0.7nm。配合趙強的預測補償模型——對準精度有可能進一步壓到1.5，甚至1.4。
"辛苦了。"林遠說，"先休息。"
顧明誠擺擺手："不累。做了二十年光學，第一次看到鏡面精度被逼到這個程度——刺激。"
他走了兩步，又回頭。
"但我要說一個問題。0.03nm是冷態精度——系統剛開機、溫度穩定時的數據。如果連續運行超過四十八小時，鏡座材料的熱蠕變會把精度拉回0.04以上。"
"解決方案？"
"換鏡座材料。鈦合金改碳化矽。但那是下一輪硬體升級的事，不是標定能解決的。"
林遠點頭記下。
顧明誠走後，他一個人坐在辦公室，看著標定數據出神。
0.03nm。這不是一個小數字的進步——這是系統上限的突破。原來的1.6nm，光學系統是最大的誤差貢獻者之一。現在這個貢獻被砍掉了將近一半。
如果重新跑一輪全系統測試，配合新的鏡面精度和趙強的預測模型——結果可能會突破1.5。
但他沒急著安排。因為有更重要的事——今天有人要來。
下午兩點。測試中心前台打電話上來。
"林工，有位客人。說是中科院計算所的，姓陳。沒有預約，但說您會見他。"
林遠站起來。
陳偉東。
他走進接待室。陳偉東穿著深藍色夾克，手裡拎著一個公文包，正站在窗前看外面的浦東天際線。
"陳教授。"
陳偉東轉身，握手。五十出頭，精瘦，目光銳利。
"林遠，久仰。百聞不如一見——你比我想的年輕。"
"您也沒比我想像的嚴肅。"
陳偉東笑了。坐下，開門見山。
"我今天來上海，不是出差。是專門來找你。"
"什麼事值得您跑一趟？"
陳偉東從公文包里取出一個文件袋，沒有拆封，放在桌上。
"國家要啟動一個新的重大專項。代號'核心半導體'。目標——在關鍵半導體設備和工藝上實現自主可控。"
他看著林遠。
"不同於863的探索性研究。這個專項有專項經費、有明確目標、有考核節點。其中一個方向——就是EUV光刻關鍵技術。"
林遠心跳加速。但臉上沒有露出來。
"你們團隊——三大系統集成、1.6納米數據、百輪穩定性驗證——進入了遴選視野。"
"遴選？"
"候選團隊不止一個。長春光機所、上海光機所、微電子所——都有團隊在競爭。但你們是唯一有實測數據的。"
陳偉東打開文件袋，取出一頁紙。
"這是遴選的核心指標。"他推過來，"你看看。"
林遠掃了一眼。五項指標：對準精度、光源功率、系統穩定性、連續運行時長、工程可復現性。每一項都有明確的門檻值。
他們的1.6nm已經超過了瞄準精度的門檻。百輪全過證明了工程可復現性。唯一不夠的是連續運行時長——目前只驗證了一百輪約五十分鐘，離專項要求的七十二小時還有數量級差距。
"但如果你們願意進入專項——"陳偉東說，"經費和設備不是問題。時間也能爭取。關鍵是——你願不願意把團隊押上去。"
林遠沉默了三秒。
"條件呢？"
"第一，全程接受專項辦公室統籌。第二，核心團隊成員三年內不得退出。第三——"
陳偉東頓了一下。
"涉密等級提升。論文發表受限。部分技術成果歸屬權歸國家。"
林遠靠回椅背。
這是他一直在等的門。從學術合作到國家專項——意味著資金、資源、合法性，以及保護。但也意味著束縛——政府統籌、學術自由受限、身份問題複雜化。
他二十歲。他是遠望科技的CEO。他有四個身份。如果進入國家專項——每一個身份都會被放大審視。
"我需要時間想。"
"當然。"陳偉東站起來，"但我給你一個時間框架——遴選截止十一月中旬。你還有兩周。"
他走到門口，回頭。
"林遠。這不只是一個項目的機會。這是整個行業的入場券。國家需要年輕人——需要能看清二十年的人。"
門關了。
林遠坐在接待室里，看著桌上那個沒拆封的文件袋。
國家專項。入場券。兩周時間。
他閉上眼。腦子裡在飛速轉——進入專項，意味著從"民間選手"變成"國家隊"。遠望科技的資源可以全面對接國家平台。但同時也意味著——遠望的技術底牌、趙強的模型、顧明誠的光學方案——都要對國家透明。
這步棋，利弊參半。
他拿起手機，默念了一句。
同一夜。大西洋上空。
謝弗坐在飛往阿姆斯特丹的航班上。
他這一周沒有閒著。胡佛研究所的台階被布朗在董事會上抽掉了——但他不會就此退場。
阿姆斯特丹。ASML總部所在地。
第二天上午。謝弗坐在運河邊一間咖啡館裡，對面是ASML的一位高級副總裁。
"我看了中國團隊的數據。"謝弗開門見山，"一點六納米，百輪全過。不是吹牛。"
ASML高管端起咖啡。"所以？"
"所以——這不是實驗室玩具。這是工程能力的證明。他們差的不是原型，是供應鏈。光源、光學、工件台——每一個子系統的頂級供應商都不在中國。"
"你想說什麼？"
"如果他們獲得國家層面的全力支持，供應鏈的限制會被逐步突破。五年到八年——他們可能造出量產級光刻機。"
ASML高管放下杯子。表情沒變，但手指停止了轉杯子的動作。
"你在建議？"
"我建議——在他們獲得政府支持之前，鎖死供應鏈。核心零部件的長期供貨協議——現在簽。光源組件、光學鏡片、精密軸承——每一項都簽排他條款。等他們的專項經費批下來，有錢也買不到關鍵組件。"
沉默。
ASML高管看著運河上來往的船。
"你覺得他們會獲得政府支持？"
"一個二十歲做出了1.6納米的團隊——"謝弗說，"你覺得他的政府會放過他？"
ASML高管笑了。不是開心的笑。
"我安排供應鏈團隊下周開會。"
謝弗點頭。
台階被布朗抽掉了。但他不需要台階。
他需要的是一把鎖。
咖啡館外。運河邊的風很冷。
謝弗上車走了。
ASML高管站在原地沒動。他看著謝弗的車消失在街角，嘴角的笑意一點點消失。
他從口袋裡掏出手機。
號碼不是打給供應鏈團隊的。
電話響了兩聲，接通了。
"克勞斯教授？"他的聲音壓得很低，"是我，范德梅爾。"
"……對，剛才那個人，你猜對了。他果然來找我們了。"
"具體的我電話里不方便說。老地方，明天下午三點。"
他掛斷電話，轉身往ASML總部走去。
運河的水很靜。但水面之下，暗流已經動了。