四月中旬，吉省長光所。
地下實驗室的無塵室外，王老的團隊已經連軸轉了兩天兩夜。
玻璃窗內，一組從櫻花國弄回來的日產光學物鏡被拆成了幾十個編號部件。
鏡片、隔圈、壓環、鍍膜樣片，全都鋪在防靜電墊上。
每一個動作都慢得要命。
因為這玩意兒不是普通鏡頭。
它關係到光刻機能不能從現有水平，往1.5微米製程上再邁一步。
林希站在玻璃窗外，看著裡面的進度。
這時，江俊拿著一份資料冊快步走了過來。
「林經理。」
他的聲音比三年前穩了太多。
三年前，江俊站在林希面前時，背是塌的，手裡攥著女兒的病歷。
現在，他白大褂袖口卷到小臂，資料冊夾在胳膊下，開口第一句就是工藝參數。
「光刻機要升級到1.5微米製程，光有鏡頭不夠。」
江俊翻開工藝資料冊，指著設計圖上的對齊位。
「1.5微米線寬，上下層對齊的套刻精度，最多只能容忍300納米誤差。」
他手指敲了敲圖紙。
「也就是說，我們的尺子，得能量出幾十納米級別的微小位移。」
江俊合上資料，語氣很沉。
「三年前搞出來的1微米精度光柵尺，已經不夠用了。」
林希點了點頭。
他很清楚，在1984年，測量工具的精度落後，就是卡死晶片製程的物理天塹。
你連工作檯挪了多少都量不準，還談什麼套刻？
晶片不是靠熱血喊出來的。
每一道線，都得用精度咬出來。
「跟我來。」
江俊沒多解釋，轉身就走。
林希跟著他推開走廊盡頭一間獨立實驗室的門。
屋裡溫度比外面低，牆角的除濕機一直在響。
光學平台四周拉著黑色遮光簾，地面上連腳印都很少。
江俊走到一張光學平台前，手指搭在防靜電黑布邊緣，停了半秒。
那動作不像揭布。
更像是掀開自己三年心血的蓋頭。
他一把拉開黑布。
光學平台上，一台半米長的金屬設備安安靜靜躺著。
結構緊湊，反光鏡組排布複雜，鋁合金外殼擦得發亮。側面貼著一張手寫標籤。
CQ-1型雙頻氦氖雷射干涉儀。
林希蹲下來，繞著看了一圈。
「跑通了？」
「跑通了。」
江俊回答得很穩。
但他握著黑布的手一直沒松，指腹壓得發白。
「林經理，三年前你給我批無上限預算，把雷射干涉儀的活兒交給我，那時候我心裡沒有底。」
「一微米精度，難，但路是通的。」
「刻劃機精度往上堆，材料往上磨，工人手藝往死里練，總能磨出來。」
他頓了頓。
「但一微米基本就是機械測量的天花板了。」
「機械結構有摩擦，有熱脹冷縮，有震動。刻劃刀再鋒利，也是鐵碰鐵。」
「這三樣東西消不掉，精度就上不去。」
江俊站起來，走到黑板前。
他沒畫複雜圖紙，只寫了一行字。
光波沒有摩擦力。
林希看著那七個字，目光微微一頓。
江俊轉過身。
「前年，我把光柵尺項目結題報告交上去之後，就開始琢磨這條路。」
「氦氖雷射器波長632.8納米，穩定，單色性好，天生就是一把尺子。」
「兩束光一干涉，條紋移動半個周期，就是316.4納米。」
「數條紋，就能量位移。」
他說到這裡，聲音壓低。
「道理不難。」
「難的是，這把尺子自己不能抖。」
「雷射器剛點亮時，頻率會漂。」
「溫度變一點，腔長變一點，頻率就跟著跑。」
「你拿一把自己都在哆嗦的尺子去量東西，量出來的數，誰敢信？」
江俊語速快了起來。
「我試了十一種穩頻方案。」
「前十種，全廢。」
「燒了六根雷射管，炸了兩塊分光鏡。」
「有一次反射鏡崩了，碎片直接釘進防護板里。」
他抬手拍了拍那台設備，動作很輕。
「上個月，第十一種方案終於跑通了。」
「塞曼效應分裂雙頻，再加熱敏電阻反饋環路，把腔長鎖住。」
這一次，他沒有再多解釋。
他走到設備旁邊，按下側面的綠色電源鍵。
一束極細的紅色雷射射出。
光束經過分光稜鏡，分成兩路，打在測試導軌的反光鏡上。
光路盡頭，電子探測器上的綠色數字瞬間開始跳動。
快得像亂了套。
江俊沒說話。
林希也沒說話。
兩人一起盯著屏幕。
十秒。
二十秒。
三十秒。
數字慢了下來。
最後，尾數穩住了。
江俊這才轉頭看向林希。
他臉上沒有笑，只有三年熬出來的篤定。
「工作檯位移解析度，15納米。」
「也就是0.015微米。」
「重複定位精度，正負20納米以內。」
他指了指玻璃窗外的無塵室方向。
「1.5微米線寬，套刻容差300納米。」
「只要控制系統跟得上，我這把尺子，能把工作檯誤差壓進安全線以內。」
林希盯著探測器上紋絲不動的尾數，沉默了好幾秒。
然後，他長長吐出一口氣。
腦海里，透明的直播間屏幕上，彈幕直接炸了。
【臥槽！15納米！1984年的國產雷射干涉儀！】
【這不是造設備，這是把時間線往前硬拽了十幾年！】
【光刻機以前是摸黑走路，現在等於開了高精度導航！】
【江俊真牛啊！三年前救女兒，三年後給國家造出一把納米尺！】
【這把尺子一出，32位晶片的物理底座穩了一半！】
林希站起來，走到江俊面前。
他沒說漂亮話，只是鄭重伸出手，用力握了一下。
江俊被他攥得手指發疼，忍不住咧嘴。
「林經理，輕點。」
「我還得用這手調光路呢。」
林希看著他，重重點頭。
「江工，辛苦了。」
「這把尺子，是咱們衝擊32位晶片最硬的底牌。」
……