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第386章 45納米光刻機

2026-04-18 09:11:35 作者: 辰星如夢夢人生

  攻關小組在第三個月撞上了南牆。

  何雨柱站在無塵車間外面,隔著玻璃往裡看。那台銀白色的機器外殼上貼著「45nm實驗樣機」的標籤,紅字蹭掉了一個角。他沒進去,就站在那兒,能感覺到裡頭的氣壓很低。幾個技術員蹲在機器前頭,沒人說話,只有機器散熱風扇嗡嗡轉。

  周廠長攥著測試報告出來,報告紙被他手心的汗洇濕了一角。他沒遞過來,先嘆了口氣,聲音壓在嗓子眼裡。

  「何處長,前六次都廢了。」

  何雨柱接過報告,翻到第六次測試那一頁。曝光均勻性,偏差百分之十五。線寬,四十五納米正負五納米。合格率,不到百分之三十。他把報告合上,沒說話。

  「鏡頭熱變形,曝光精度不夠。線寬控制不住,有的寬,有的窄,短路、斷路,一大堆毛病。」周廠長說著,用手比劃了一下,「跑起來就熱,一熱就歪。」

  何雨柱把報告還給他。「錢所長的材料呢?」

  周廠長翻到另一頁,手指點了點上面的數據,嘴唇動了動,沒立刻接話。「新材料透光率好了兩成,可它……」他停頓了一下,像是在斟酌詞句,「一開大功率就膨脹。功率小了,曝光時間又太長,一片矽片得曬半天,效率還不如老機器。」

  何雨柱沒接話。他推開車間門,走進去。機器還在嗡嗡響,指示燈一閃一閃的。他蹲下來,伸手摸了摸鏡頭座旁邊的外殼,燙的,手心貼上去能感覺到熱量往外滲。

  中科院微電子所的王研究員蹲在操作台前頭,手裡拿著個本子,一邊看一邊記。他看見何雨柱,站起來,摘下老花鏡。

  「何處長,問題不在材料。鏡頭熱變形是結構的事。散熱不均勻,一邊熱一邊涼,鏡頭就歪了。」

  何雨柱站起來。「能改嗎?」

  王研究員沒直接回答。他把老花鏡戴上,又摘下,用衣角擦了擦鏡片。「改散熱結構,加冷卻水道,讓冷卻液均勻流過鏡頭四周。溫度穩了,變形就小了。」

  何雨柱轉過身,看著周廠長。「改。需要多久?」

  周廠長想了想,又看了看王研究員。「兩周。重新設計冷卻水道,加工零件,安裝調試。」

  

  何雨柱點點頭。「改。改完了再試。」

  第七次試機安排在兩周後的一個下午。

  何雨柱又去了上海。車間裡站滿了人,上海無線電廠的技術員、中科院微電子所的研究員、錢致遠材料所派來的年輕人,把無塵車間擠得滿滿當當。空調開得很足,但何雨柱還是覺得悶。他站在人群後頭,能看見那台機器上貼著的「45nm實驗樣機」標籤,紅字已經徹底模糊了。

  周廠長站在操作台前頭,手放在啟動按鈕上,沒按。他回頭看了何雨柱一眼,又轉回去,盯著屏幕上那幾行還在跳動的溫度數據。等了十幾秒,溫度穩住了。

  「各處溫度正常,正負零點五度。」操作員報數。

  周廠長深吸一口氣,按下按鈕。

  機器啟動了。光源亮起來,刺得人睜不開眼。鏡頭旋轉,工件台移動,矽片在曝光燈下慢慢移動。車間裡很安靜,只有機器嗡嗡響。何雨柱盯著儀錶盤上的數字,壓力、溫度、真空度,都在正常範圍。但他注意到周廠長的手一直沒離開那個紅色的緊急停止按鈕,手指擱在上頭,沒按下去。

  三十分鐘。四十分鐘。五十分鐘。

  機器停了。

  技術員把矽片取出來,送到顯微鏡下。王研究員湊過去,看了很久,一動不動。車間裡沒人說話,有人咽了口唾沫,聲音很響。

  周廠長忍不住了。「老王?」

  王研究員沒回頭,又看了十幾秒,才直起腰。他把老花鏡摘下來,沒說話,先呼出一口氣。

  「線寬,四十五納米,正負零點五。均勻性,偏差百分之三。」

  他頓了頓,把老花鏡重新戴上,又看了一眼顯微鏡,才補了一句。

  「合格率,百分之九十五。」

  車間裡安靜了一秒。不是那種死寂,是那種憋了很久的、不敢相信的安靜。然后角落里有人笑了一聲,很低,像鬆了口氣。接著有人拍了一下大腿,有人蹲下去,有人把本子合上,呼出一口氣。

  周廠長站在操作台前頭,手指還按在那個緊急停止按鈕上,沒鬆開,指節發白。他愣了兩秒,把手收回來,在褲子上蹭了蹭手心的汗。


  「成了。」他說。

  聲音不大,但車間裡每個人都聽見了。

  何雨柱站在人群後頭,沒動。他看著那些技術員蹲在地上抱著頭,看著王研究員摘下老花鏡又戴上,看著周廠長站在操作台前頭一動不動。他沒說話,轉身走出車間。

  外頭的天快黑了,路燈剛亮,昏黃的光照著廠區的水泥路。他站在門口,從口袋裡摸出煙,點上,吸了一口。煙霧在風裡散得很快。

  晚上,何雨柱住在廠招待所。他坐在床上,把那份名單從系統空間裡拿出來,翻到「光刻機」那一頁,在「45納米」三個字後頭,他加了一行字:上海無線電廠、中科院微電子所、錢致遠材料所聯合攻關,第七次試機成功,線寬45納米正負0.5納米,合格率95%。

  寫完了,把名單放回去,鎖好。

  第二天一早,何雨柱去了錢致遠的研究所。錢致遠在實驗室里,蹲在一台顯微鏡前頭,看一塊材料的切片。他聽見門響,抬起頭,摘下老花鏡。

  「小何,成了?」

  何雨柱在他對面坐下。「成了。您的材料立功了。」

  錢致遠沒笑。他站起來,走到柜子前頭,拿出一塊銀白色的金屬,遞給何雨柱。何雨柱接過來,沉甸甸的,表面光滑,在燈光下泛著冷光。

  「這是新配方。熱膨脹係數比上一版還低三成,透光率提高一成。用在下一代光刻機上,能做更細的線寬。」

  何雨柱掂了掂那塊金屬。「三十二納米?」

  錢致遠點點頭。「理論上是。得試驗。得有人,有設備,有時間。」

  何雨柱把金屬還給他。「人從各所調。設備從國外買。時間,五年。五年後,我要看到三十二納米光刻機。」

  錢致遠把金屬放回柜子里,關上櫃門。「行。我搞。」

  何雨柱站起來,伸出手。錢致遠握住,搖了搖。

  「錢所長,您保重。」

  「你也是。」

  回到北京,天已經黑了。何雨柱剛進辦公室,桌上的電話就響了。他接起來,那頭先是一陣嘈雜——有人在喊「加壓」,有人在讀數據,然後林建國的聲音傳來,不是喊,是那種壓著嗓子、帶著喘的、像跑了長跑之後的聲音。

  「院長,晶片到了。」

  何雨柱沒說話。

  電話那頭頓了一下,傳來什麼東西放在桌上的聲音,很輕,但很穩。

  「線寬正負零點三,比設計指標還好。院長,星河六號……它能跑了。」

  何雨柱握著話筒,聽見那頭有人哭了。


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