車間內,沈永健按下主控台上的啟動按鈕。
極低且平穩的嗡鳴聲在耳邊一閃而過,龐大的設備各處指示燈亮起。
從土法光刻到接觸式光刻,直至今日的步進掃描光刻,這光刻設備本身雖然越來越精緻,但其體積也不斷增大。
就眼前這台的體積已不輸於前些年的大型計算機。
車間內空調機組正不斷變頻中,精確地將溫度與濕度依舊保持在完美的恆定狀態。
這套薛福根還未展開研究的,只被他指明為之後研究方向的技術,如今在這台精密空調之中已應用運行流暢。
「開始自檢。」
沈永健緊盯著眼前的控制屏幕,下達了指令。
機櫃嵌入的屏幕上,各項傳感器數據如瀑布般刷過。
雷射干涉儀的讀數瞬間鎖定,氣浮導軌的壓力值穩定在標準區間,直線電機的響應延遲也達標。
「自檢通過,掩模台與矽片台就緒。」
顯示屏上顯示出結果,卓邵文看著面前的新機器,眼中滿是期待。
「載入測試晶圓,運行L-4晶片的模擬曝光程序。」
隨著指令錄入下達,塗有光刻膠的矽片送入至工作檯區域。
和上一代步進重複光刻機「靜止曝光」時的頓挫感不同,這次新機器的整個曝光過程顯得異常絲滑。
眾人能清晰看到在曝光的瞬間,掩模台和矽片台並沒有保持靜止,而是在雷射干涉儀的精準定位下,進行著同步反向移動。
而實際工作檯內對晶圓的不同曝光過程,光憑肉眼可看不出區別。
唯有等幾分鐘後,第一片測試晶圓曝光完成,被轉送入顯影與檢測區,眾人跟著期待起來。
車間內依舊安靜,觀摩的技術骨幹們再次屏住了呼吸,緊緊盯著檢測儀傳回的實時數據。
「多層套刻精度:0.15微米」
「邊緣線寬均勻度誤差率:1.95%」
…
顯示器測試結果顯現瞬間,卓邵文,張偉森等人便已經激動起來。
「啪啪~!」的鼓掌聲從幾人之中響起。
餘下的技術骨幹們也立刻激動地鼓起掌來。
要知道上一代的步進重複光刻套刻機精度勉強只達0.5微米左右,如今直接將精度提升了兩倍有餘。
哪怕還未大規模地生產測試,但良品率必然遠超之前!
「沈工,新光刻機的單片晶圓曝光時間比原先也縮短了40%。」
「要是良品率能保證,整體生產效率至少能翻一倍。」
沈永健看著屏幕上一系列結果,緊繃的神經終於放鬆下來,嘴角露出一抹笑容。
東西是他設計的沒錯,但從設計到研製落成,這其中可不簡單。
尤其是光刻機這種設備,他最擔心的就是有零配件不達標,尤其是部分加急進口的零配件,倘若精度不夠耽誤的時間可不止一點半點。
如今新機器精度與效率的雙重飛躍下,國內在微電子製造工藝上,再次有了巨大的跨越。
毫不誇張的說,目前國內工藝已將世界先進水平拉開了巨大斷層。
光刻設備的更新,雖然眾人心情都十分激動,但於廠里而言卻並沒有多少消息透出。
於外界而言更是未有丁點變化。
唯獨研發處的薛福根在廠里愈加忙碌起來。
帶著研發處的同志開始鑽研起適合空調的轉子式壓縮機。
微電子所內,沈永健也將注意力轉到了卓邵文的L-5晶片方案上。
這次跨越萬集成度的晶片,方案早已經過多次仿真與修改,只可惜依舊還有要調整的地方。
而晶片方案的每一次微小調整,又牽扯許多局部模塊的設計,工作量反而比最初起步時還大。
而越是到了這關鍵時刻,便越是要沉得住氣,沈永健也加入了一線團隊工作,讓眾人心思愈發堅定。
……
瑞聯國。
這個被譽為鐘錶王國的國家,近日正在日瓦市的萬國宮內進行著一場重要會議。
寬敞的會議廳內,一名身著西服的中年男子挺直腰背,略顯侷促地等在此間。
視線不斷瞟過會議廳內,面對周圍陸續走近的其他外國代表都幾次起身彎腰呈45度鞠躬。
「弗雷德先生,歡迎日後來我國旅遊做客,思密達。」
看著面前瑞聯國的外交官走近,與自己握手攀談,金士廉臉上的笑容也比剛剛自然和熱情得多。
他是南高麗國這次臨時指定的外交官,原先陸軍出身,少將軍銜,後才轉入的政府工作。
最近十來年,南高麗國算是「隱士之國」。
自戰爭後,經歷內部的動盪,直至這一兩年才開始改變態度,開始向外開放。
像這種國際性的大會,金士廉是頭一次參加,身上背負的國內任務很重。
所以第一個前來到會,儘可能地與參會的其他代表們打招呼攀談幾句,留下一個好印象。
只可惜,真正肯搭理他的不多,讓他心中多了幾分挫敗。
這會兒弗雷德肯主動上前,才讓他心中緩和不少。
心中也暗暗給自己打氣,在全球格局裡,他們亞太地區的黃皮膚國家就是不受重視。
要放平心態…不能辜負大總統的信任。
一番心裡安慰後,金士廉迅速將一系列情緒掃除。
直至遠處大門口傳來光影閃爍,耳中也跟著傳來響動,這才下意識地再次起身。
只是才一起身就有些後悔,他看清門外的參會外交代表腳步不快,這會兒到這會議桌還有一小段距離,起身的有些早了。
更重要的是,這走進前來的似乎也只是個亞洲面孔…
這般想法才一冒出,卻發現身邊原本還互相攀談,無比隨意的外交官們都紛紛從位置上起身。
個別外交人員動作甚至要比他還早幾分,這讓金士廉心中好奇心迅速升起。
看著這位氣場不小的男子走近,心中不斷盤算猜測起來。
難不成是東瀛國的外交官?
不可能!
對方這身高可不太像啊!
而且國內目前與東瀛國關係開始緩和,東瀛國的幾位外交官他也多有打過交道。
雖並非專職外交官,但大致情報還是知曉的。
更別提東瀛國在眼下世界也算不上什麼大國,像這般的地位和待遇根本不可能落在它頭上才是。