陳一然一直比較擔心的,就是未來光刻機被卡脖子的問題。
作為天天高強度上網的人,他對於光刻機的事情知道的還不少。現在還不是最慘的時候,好歹還是能買到DUV的,再過十年,不只是DUV買不到,裡面的一些核心部件也都買不到了。
首當其衝的就是物鏡和投影透鏡,全都是蔡司生產的,這是光刻機的靈魂,一直到2025年,中國也沒追上蔡司的水平,只能做一些低端線。
比較扎心的是,追上這個需要離子束拋光機等超精密設備,而這些設備本身也是需要從日本德國進口的。
還有光源系統,努力發展之後,雖然能用,但是穩定性差距巨大,EUV更是摸都摸不到邊。
精密機械方面,雙工件台是ASML的標誌性技術,一個台在曝光的同時,另一個台在做對準測量,交替工作,產能翻倍。
中國雖然看似追上了,但是光柵尺幾乎完全依賴德國海德漢。
2025年的情況是,雖然已經喊出了國產率超過7成的口號,但是那剩下的3成一直依賴庫存部件,但這些部件終有一天會用完的。
所以在管理會上,陳一然直接確定了公司未來的發展方向,不要考慮什麼經濟問題,先在技術上一路狂奔。
錢,陳一然多的是,他直接喊出了,除了帳面上的9億美金和楷登未來3年的8億美金分期款項。
萬果園在中國EDA市場中賺到的所有錢,以及6英寸產線賺到的錢,全部會投到設備和技術上。
甚至,如果研發需求資金過多,他可以以股東的身份借款。
雖然會議上都是資深從業者,已經過了吃餅的年紀,但是陳一然在這一年,多少養出了點感染力。幾個大佬,多少有點血還未涼的感覺。
當天會議結束,邱慈雲甚至在晚上,就把整個光刻機採購的詳細流程整理好發給了他。
買一台浸沒式DUV光刻機不是簽了合同打款就等收貨的事,從發詢價函到最後設備進潔淨室,正常要跑一年半到兩年,中間卡著三道大關。
第一關在ASML的荷蘭總部,第二關在荷蘭政府,第三關在中國政府。
當然,第一和第三,是所有貿易都會走的。
但是作為高尖端項目,這第二關,就很麻煩了。
因為這涉及到一個協定。
瓦森納協定。
全稱是關於常規武器和兩用物品及技術出口控制的瓦森納安排,於1996年在奧地利維也納成立,由四十個成員國組成。
協定的核心是一份管制清單,清單上的敏感物項和技術在出口時必須經過各成員國政府的逐單審批。半導體製造設備,尤其是浸沒式DUV光刻機,就在這張清單上。
ASML不能自主決定賣給誰,每一台出口到中國的NXT光刻機,ASML都要先向荷蘭外交部屬下的經濟政策局提交出口許可申請。
荷蘭政府審核設備的技術參數有沒有超過瓦森納協定的限制線,同時參考其他成員國的意見。
當然,說破了就是美國的意見。
然後決定發證還是拒絕,正常周期是四到六個月。
在2011年這個時間點上,浸沒式DUV在審核體系里所處的是一塊灰色地帶。審是審得慢,但如果買家的背景乾淨,用途清晰,承諾不轉售不軍用,一般也不會被直接拒掉。
荷蘭並沒有將其列入《戰略物資條例》,美國的《出口管理條例》也沒有列入。
中芯國際在未來幾年,曾經大規模採購過ASML的光刻機,都沒有被拒絕。
可以說這是一個短暫的窗口期,過了這個村就沒這個店了。
但是,邱慈雲,季明華,蔣尚義在會議上,一開始卻並不支持買最新型號的光刻機。
現在的最新型號光刻機,是NXT1950i和1960i。
1950i是2008年初的主力型號。
1960i則是ASML宣布,明年才會交付的最新型浸沒式DUV型號,號稱解析度到38納米,套刻精度可以控制在幾納米上下。
做28納米和後續的14納米工藝進階,從參數上說這台機器是最匹配的。
可是28納米用上一代的1900i甚至再早一點的1700i,在多幾個個月的工藝磨合之後同樣可以跑通。
幾個大佬更是認為,1900i會更好用,原因在於工藝know-how。
工藝know-how,沒有什麼固定的中文翻譯,簡單來說,應該就是技術訣竅的意思。
很多人以為買了最先進的光刻機就能做出最先進的晶片,但其實並不是那麼簡單。
光刻機在整個晶片製造的工序鏈里只是其中一環,一個28納米晶片從投片到封裝出庫大概要經歷五百到八百道工序。
光刻把電路圖案投影到矽片上,刻蝕把圖案刻進材料里,薄膜沉積在上面鍍各種材料層,離子注入改變導電性,化學機械拋光把表面磨平,每道工序之間還有好幾輪清洗和量測。
光刻機只負責每一次循環裡面的拍照步驟,拍完之後,怎麼刻,刻多少。
用什麼氣體配比,射頻功率設置為多少瓦,腔體壓力保持在多少毫托,溫度控制在幾度,刻多長時間,這些東西都需要後續自己的工藝測試。
一套成熟的刻蝕配方可能包含幾十個參數,這些參數不是從教科書上能查到的。
每家代工廠的刻蝕機台不同,腔體內部狀態不同,靶材組合不同,參數全都要自己摸索。
離子注入的能量窗口,偏了百分之五就可能讓最後的閾值電壓跑偏。化學機械拋光什麼時候該停,不是一個傳感器數字就能判斷的,是工藝工程師根據幾千片矽片的數據積累出來的經驗。
可到了幾十個步驟之後,這兩納米的偏差會讓離子注入的分布整體偏移。
閾值電壓不達標,晶片跑不到目標頻率,但沒有人能反向定位到具體是哪個步驟出了問題。
這種跨幾十道工序的因果鏈沒有任何理論模型能預測,只能靠一輪一輪試出來。
台積電從1987年建廠,積累了二十四年。
每一條參數都是幾萬片測試晶圓和幾十年廢片堆出來的,不是買一台最新光刻機能繞過去的。
這也就是為什麼中芯和台積電都擁有ASML同型號的浸沒式光刻機,台積電可以用到做到幾納米的套刻精度,中芯在同一時間也並做不到。同一台機器,不同的工藝know-how,差距就是這麼出來的。
邱慈雲,季明華和蔣尚義的建議當然沒問題,但是陳一然還是拍板,先詢問,能不能買最新的。
瓦森納協定現在只是限制和審核,不是禁止。
1960i,審核速度慢但不被直接拒掉。
再過幾年,再想買的話,鬼知道買不買得到。
他這一年可是對科技圈影響巨大,蝴蝶效應之下,後續的歷史進程都不可信了,誰知道哪天就會突然禁運了呢。
現在如果買1900i或者1860i,等萬果園的工藝真到了需要最先進浸沒式光刻來做14納米的時候,荷蘭那邊不賣了,那不是拿著錢干著急嗎。
1960i是需要爭取的,最次也要買1950i。
幾個老頭好像都明白了陳一然的意思,最後都同意了,並且下了保證,一定盡全力攻克技術的。
邱慈雲最有意思,他晚上給陳一然發了文件之後,他又打來了電話,開始說經驗。
「陳總啊,你現在得開始演戲了,如果想要我們公司更好,你就得利用你現在美國的公司,FlowEDA的名頭該用就得用!還要樹立你在美國那邊的形象!」