魔都，張江高科技園區，上微電子總部。
在最高級別的超淨實驗室內，賀建國總工正帶著十幾名核心研發人員，圍繞著一台剛剛組裝完畢、體積龐大得如同兩層樓高的小型工廠的機器，進行著緊張的最後整機聯調。
這，就是代表著華國目前半導體工業製造最高水平的——28nm浸沒式DUV光刻機第一台原型機。
相比於之前穩定量產的65nm乾式光刻機，這台機器的內部結構發生了翻天覆地的變化。
賀建國指著大屏幕上不斷跳動的實時監控數據，聲音因為連續熬夜而有些沙啞，但透著難以掩飾的激動。
「各單位注意匯報最新參數！」
「浸液系統循環穩定，水體折射率保持在1.44絕對值，沒有任何微氣泡產生！光學物鏡波前像差控制在設計容差範圍內！」負責長天光學浸沒式物鏡系統（NA 1.35）的技術員大聲匯報導。
「天卓精密第二代雙工件台，矽片定位精度穩定在納米級別，台面同步運動無明顯抖動誤差！」
「天虹雷射193nm準分子光源，雷射脈衝能量輸出穩定，功率死死地釘在90瓦，完全滿足28nm製程多重曝光的極限能量需求！」
聽完這三大核心部件的聯調數據，賀建國長長地舒了一口氣。
這台28nm光刻機之所以能如此迅速地成型，最大的底氣，就來自於天宇集團這幾年近乎瘋狂的底層投資。
這台機器的三大核心部件——物鏡系統、雙工件台、準分子光源，全部是長天光學、天卓精密和天虹雷射在吸收了65nm研發經驗後，砸出海量研發經費疊代出來的最新版本。
「立刻啟動最後一項關鍵驗證！」賀建國下達了最終指令，「進行28nm極限線寬的晶圓多重曝光均勻性測試！只要這項數據達標，咱們這台國產28nm浸沒式光刻機，就可以正式宣告進入工程樣機交付的最後倒計時！」
實驗室內的氣氛瞬間緊張到了極點，所有人都死死地盯著屏幕，等待著最後曝光結果的顯現。
……
鄭州，天宇集團總部。
陳立峰剛剛從魔都飛回來，連軸轉的行程讓他滿臉疲憊，但精神卻十分亢奮。
他手裡拿著一份絕密文件，直接敲開了許晨辦公室的大門。
「許總，大好消息！魔都那邊賀總工傳來確切情報，28nm光刻機原型的多重曝光測試通過了！」陳立峰激動地將報告遞到許晨面前，「現在距離工程樣機下線，只差最後的微調了！」
許晨接過報告，看著上面那些代表著勝利的數據，嘴角終於露出了滿意的笑容。
他知道，這台光刻機能這麼快進入驗證階段，簡直是一個奇蹟。
原本在半導體行業的普遍認知中，從65nm跨越到28nm浸沒式，中間橫亘著無數技術壁壘。
阿斯麥當年走這條路，花了整整五年多的時間，燒掉了幾十億歐元。
而華國，滿打滿算，只用了不到兩年的時間！
陳立峰平復了一下激動的心情，開始進行匯報。
「許總，這次28nm能這麼快出成果。說實話，咱們天宇在底層砸的錢只是點火的引子，真正讓這台機器飛起來的，是國家政策那股史無前例的超級東風！」
陳立峰調出一份政策時間軸：「您還記得2017年8月，咱們那台65nm乾式光刻機初光測試成功的消息秘密上報給中央後的場景嗎？國家層面立刻意識到了這是突破封鎖的絕佳契機。」
「從2017年底到2018年初。國務院、工信部、科技部，密集得像下雨一樣，出台了一系列針對半導體底層裝備的專項支持政策。」
「2018年1月，國家發改委更是直接明確表態，要在集成電路領域組建國家級的產業創新中心！」
「最誇張的是國家集成電路大基金二期的籌備。」陳立峰咽了口唾沫，「預期規模直接達到了兩千億元！資金像泄洪一樣，重點去砸光刻機、刻蝕機這些最薄弱的製造環節！」
「有了國家政策這隻看不見的大手一揮。這短短兩年間，國內海量的企業和資本如同聞到了血腥味的鯊魚，瘋狂湧入光刻機產業鏈。」
「從光源到物鏡，從光刻膠到掩膜版。國內能做底層配套的企業數量，直接翻了三倍都不止！硬生生地把原本需要五年才能走完的研發路徑，壓縮到了現在的兩年！」
許晨聽完，深以為然地點了點頭，天宇集團只是一個點火的作用，國家不怕投資，就怕投資了也沒有出成果，國家本身的發展也不平衡。
像西部地區還有大量人民在貧困線上掙扎，投了錢，沒成果還不如把這個大資金去投民生呢，因為那才是實實在在的變化。
所以有時候，只要你做出一點成果，國家真的會給你大量支持。
就像賀建國總工之前在內部總結會上說過一句掏心窩子的話：「如果不是天宇集團在2015年就砸下海量真金白銀去搞三大核心部件；如果不是國家在2017年看到65nm成果後，立刻加大戰略支持。咱們的28nm光刻機，絕不可能這麼快進入驗證階段。」
「立峰，咱們晨宇資本在這條產業鏈上，到底砸了多少錢進去了？」許晨靠在椅背上，淡淡地問道。
陳立峰立刻打開筆記本電腦中的加密帳本，開始逐筆匯報。
「許總，從2015年咱們對長天光學投出第一筆開始算起。這四年來，晨宇資本在光刻機以及相關的半導體底層設備領域，累計砸進去的投資，已經超過了整整120億元人民幣！」
陳立峰指著明細表上的數字：「其中三大核心件。長天光學的物鏡系統，咱們累計注資了大約35億；天卓精密的雙工件台，砸了約25億；天虹雷射的準分子光源，約18億。」
「剩下的40多個億。我們全部通過分散的股權投資，撒給了光刻膠、掩膜版、塗膠顯影設備、以及矽片檢測設備等上下游那些關鍵但缺乏資金的國產配套企業！」
陳立峰合上帳本，眼中閃過一絲欽佩的目光。
......
（這裡寫28nm突破，小作者本身感覺合理的，對比原時空，由於天宇的加入，光刻機相關產業得到了加速，因為可以被神器效果的覆蓋，所以讓國家看到了成果肯定會及時加大政策，加大投入，原本三期大基金中加起來光刻機的部分估計只占據百分之十左右，一期就更少了，這是查資料得出的，根據披露的資金估算的應該差不多。所以要是光刻機提前出成果並且擁有明確的技術規劃，國家肯定會調整政策加大投入的。）