2005年10月29日，周六。
上海。浦東張江。測試中心。
清晨七點，林遠已經在監控室坐了一個小時。
屏幕上跳動著實時數據——溫度22.03度，濕度45.2%，振動偏移0.001μm。一切正常。
顧明誠比他還早。光學系統已經完成了最後一輪檢查，六面鏡組的對準狀態全部綠燈。
"白天我來盯。"顧明誠說，語氣不容商量，"你晚上再來。"
林遠點頭："晚上八點到早上八點，我守。"
杜建國八點準時到位。工件台狀態全綠。
趙強在北京遠程待命，筆記本二十四小時開著。
九點整。
林遠按下啟動鍵。
設備開始全速運轉。工件台高速位移，光源脈衝頻率拉到最高，光學系統進入連續掃描模式。
監控屏上，實時精度數字開始跳動。
1.69nm。1.71nm。1.70nm。
趙強的模型已經開始工作——每隔三十秒刷新一次預測補償參數。
"第一輪數據正常。"趙強的聲音從電話里傳來，"繼續觀察。"
上午十一點。
林遠走出監控室，在走廊里見到了一個人。
陳偉東。
他拎著一個黑色公文包，穿了一件灰色夾克，頭髮比上次見時更白了。
"來了？"林遠有些意外。
"專門來的。"陳偉東笑了笑，"遴選的細節，電話里說不清。"
兩人走進接待室。
陳偉東打開公文包，掏出一疊文件。
"遴選一共五支隊伍。你們、長春光機所、上海光機所、微電子所——還有一支，成電的。"
林遠微微皺眉。成電他也知道——電子科技大學，信號處理強，但光刻不是他們的方向。
"不要小看。"陳偉東像是看穿了他的心思，"成電背後是工程物理研究院，軍工背景。他們的方案不是光刻機整機——是EUV光源的替代路線。"
"什麼路線？"
"雷射等離子體。和你們的方案不一樣，但指標也能達標。"
林遠沉默了幾秒。五支隊伍，四條技術路線——這不是擇優，是賽馬。
"評審團呢？"
"五位院士。"陳偉東豎起五根手指，"材料學、光學、精密機械、半導體工藝、系統工程——全覆蓋。"
他推過來一份名單。五個名字，林遠認識其中三個——都是國內半導體領域的泰斗級人物。
"評審分三個階段。"陳偉東說，"第一階段，材料初審。你們提交技術報告和團隊資質。第二階段，現場測試——評審團會到上海來看。"
林遠一愣。
"到現場？"
"對。"陳偉東點頭，"不是只看數據報告。是親眼看著你們跑。"
林遠的心沉了一下。
現場測試意味著——所有細節都暴露在院士面前。設備的每一個參數、團隊的每一次操作、甚至測試過程中的每一個異常，都瞞不住。
"第三階段呢？"
"答辯。五位院士提問，你們回答。"陳偉東看著他，"這一關最難。院士們不只看技術指標——他們看團隊的成熟度、可持續性，還有——"
他頓了頓。
"真實性。"
林遠明白他的意思。
一個二十歲的高中生帶隊做EUV——院士們第一個問題就會是：你憑什麼？
"我知道。"林遠說。
陳偉東看了他一眼，沒追問。
"材料初審十一月初截止。現場測試在十一月中旬。你還有兩周。"
他站起來，把文件推到林遠面前。
"七十二小時的數據——如果漂亮——就是你們最硬的底牌。"
他走到門口，回頭說了一句："好好跑。我下周再來。"
門關上了。
林遠坐在接待室里，看著面前的文件，深吸了一口氣。
五支隊伍。五位院士。三輪評審。
這不是遴選——這是一場戰爭。
晚上八點。
林遠準時走進監控室。
顧明誠已經準備好了交接記錄。
"白天十二個小時，精度穩定在1.71到1.74之間。"他翻著記錄本，"模型補償有效，漂移控制在預期範圍內。"
林遠看了看數據，點頭。
"趙強說，前十二個小時的數據和他的模型預測完全吻合。"
顧明誠放下記錄本："後面的數據會更關鍵。四十八小時後，熱蠕變會加速。"
他走到門口，回頭看了林遠一眼。
"別硬撐。撐不住就叫我。"
語氣比白天軟了不少。
林遠點頭。
門關上。監控室里只剩他一個人。
屏幕上的數字還在跳。1.72nm。1.71nm。1.73nm。
他泡了一杯濃茶，設定了鬧鐘——每兩小時響一次。
夜深了。
測試中心越來越安靜。走廊里的日光燈關了一半，只剩應急燈發出昏黃的光。
十一點。數據正常。
凌晨一點。數據正常。精度1.73nm。
林遠喝了口茶，眼睛盯著屏幕。
凌晨兩點十七分。
警報聲突然響起。
他猛地坐直。
屏幕上彈出一行紅色提示——
"環境溫度異常：鏡座區域溫度上升0.12度。"
他迅速切換到光學精度界面。數字正在跳動——1.73、1.76、1.78——
精度在掉。
林遠立刻撥通趙強的電話。
響了兩聲就接了——趙強也沒睡。
"精度掉了。"林遠壓低聲音，"1.78。溫度上升了0.12度。"
趙強沉默了三秒。
"環境控制系統檢查了嗎？"
"沒有報警。"
"那就是漸進式衰減——不是故障，是冷卻迴路的流量在下降。"他的聲音冷靜而迅速，"你打開左側面板，看一下二號冷卻迴路的流量讀數。"
林遠起身走到設備旁，打開面板。
"流量——下降了7%。"
"管路里有氣泡。"趙強說，"長時間運行後冷卻液里會析出微氣泡，堵在窄管段。不影響安全，但會降低散熱效率。"
"怎麼解決？"
"手動切換備用迴路。三號閥打開，二號閥關閉，然後排空二號迴路。"
林遠按照指示操作——打開三號閥、關閉二號閥、啟動排空程序。
三十秒後，流量恢復正常。
他回到監控屏前，盯著數字。
1.78。1.76。1.74。1.73。
精度開始回升。
"恢復了。"他鬆了口氣。
"別掉以輕心。"趙強說，"二號迴路排空後，未來六個小時內不會再出問題。但四十八小時後——如果同樣的情況發生在測試末期——"
"我知道。"林遠說，"模型里沒有這個變量。"
"那怎麼辦？"
趙強沉默了一會兒。
"我已經把今晚的瞬態數據錄下來了。明天餵進模型，跑一版新的非線性補償參數。"
"來得及嗎？"
"來得及。但四十八小時之後的事，光靠模型不夠——"
他頓了一下。
"靠人。"
林遠一愣。
"靠人及時發現，及時處理。"趙強說，"這就是七十二小時的意義——不只是測設備，也是測團隊。"
掛掉電話，林遠靠在椅背上。
手心全是汗。
他看了看時間——凌晨兩點四十三分。距離七十二小時結束還有五十四小時十七分。
他打開郵箱，想看看有沒有新消息。
第二封供應商郵件。
這次是義大利的一家高精度光學元件供應商。內容同樣官方——"因年度合規審查需要，部分訂單將延遲處理。審查周期約三周。"
三周。
林遠盯著屏幕。
德國軸承，六到八周。義大利光學元件，三周。
供應鏈在收緊。一封封郵件，像一根根細繩，正在慢慢收緊。
他合上電腦。
監控屏上的數字在跳。1.72nm。1.71nm。穩定。
他喝了一口已經涼透的茶，繼續盯著屏幕。
四十五小時十七分。