2006年1月15日,周日。
清晨七點,費爾德霍芬的天還是黑的。荷蘭的冬夜漫長,凌晨五點才開始泛白,七點也只是一層灰濛濛的光。
林遠到實驗室的時候,德·克魯伊夫已經在了。他穿著一件白色實驗服,站在那台EUV光刻機旁邊,手裡端著一杯咖啡。看到林遠進來,他微微點了一下頭。
"溫控已經調整到正負0.1度。"德·克魯伊夫說,"昨晚通宵校準的。我讓團隊加了雙層隔熱罩,真空腔體的溫度波動應該能控制在你的要求範圍內。"
"辛苦了。"林遠說。
"不辛苦。"德·克魯伊夫喝了一口咖啡,"是好奇。我在ASML工作了二十三年,第一次有人質疑我們的溫控精度。更讓我好奇的是——他說得對。"
趙強從門口進來,手裡抱著筆記本電腦,眼圈比昨天更黑。他昨晚也沒睡好,一直在跑林遠給出的濾波參數驗證。
"設備準備好了?"林遠問。
"準備好了。"趙強把電腦連上測試系統,開始加載今天的測試參數,"三輪測試方案都導入了,實時數據同步也調好了。"
林遠走到設備前,用手背輕輕碰了一下真空腔體的外殼。金屬表面冰涼。他想起昨天下午那個120秒的溫度波動周期——當時所有人都以為是設備故障,現在看來,更像是某種被故意留下的破綻。
但現在不是追究這個的時候。
德·克魯伊夫看了一眼趙強的屏幕,注意到上面密密麻麻的波形圖。"你們昨晚也沒有休息?"
"跑數據嘛。"趙強笑了笑,"你們ASML的人不也經常通宵?"
德·克魯伊夫沒有回答,但嘴角微微動了一下。
上午九點十五分,第一輪測試開始。
EUV光源全功率啟動。13.5納米波長的極紫外光在真空腔體中聚焦成束,穿透多層反射鏡組,最終落在測試基座上的龍騰乙晶片表面。
整個實驗室安靜得只有設備運轉的低頻嗡鳴聲。窗外灰濛濛的天空下,幾片枯葉被風吹過時不時地拍打著玻璃。
趙強盯著屏幕。數據像流水一樣湧出來。林遠的分析腳本在後台同步運行實時分析,終端上跳動著實時更新的波形圖。
"信號完整性……"趙強的聲音有點抖,"98.7……98.9……"
他停了一下。
"99.0……99.1……99.2!"
趙強猛地抬起頭,看向林遠:"99.2!比預測還高了0.1!"
他盯著屏幕上的波形圖,嘴角忍不住上揚:"你看這個收斂曲線——前30秒有個微小的過沖,然後直接鎖定。說明CTIN的預測模型在非線性區間的表現比線性區間還好。這不是偶然——是算法本身的特性。"
德·克魯伊夫走到屏幕前,看了整整十秒鐘。他的表情從專注變成凝重,又從凝重變成某種難以形容的東西——像是一個老工匠第一次見到比自己作品更精密的器物。
"這個數字——"他問,"是在我們的設備上跑出來的?全程沒有用你們的測試環境?"
"全程使用貴方設備。"趙強說,"從開機到出數據,你們的人全程在場記錄。"
德·克魯伊夫沉默了幾秒。然後他轉身走到白板前,拿起馬克筆,把昨天寫的"第一天:97.1"劃掉,在旁邊寫上了"第二天:99.2"。
那個年輕的荷蘭工程師在旁邊低聲跟同事說了幾句話。林遠聽不懂荷蘭語,但看到了對方臉上的表情——震驚、懷疑、然後是不情願的承認。
實驗室里的氣氛變了。昨天大家看林遠團隊的眼神是審視和保留,今天變成了某種更複雜的東西。不是敵意,也不是友善——是同行之間對等的尊重。
下午兩點,第三輪測試。
這一輪是驗證昨晚發現的那個二次諧波噪聲。趙強按照林遠給出的濾波參數,在CTIN的自適應補償通道里增加了一組窄帶濾波器。
"這個頻段——"德·克魯伊夫湊過來看趙強的設置,"你們怎麼知道13.5納米波長在二次諧波位置有噪聲?我們自己都沒有在這個頻段做過專項分析。"
"昨晚跑全頻段掃描的時候發現的。"趙強說,"一開始以為是設備本身的背景噪聲,排查了兩個小時才發現——不是噪聲,是光源在特定功率下的諧振缺陷。它的頻率剛好落在CTIN自適應補償的盲區邊緣,但加一組窄帶濾波就能覆蓋。"
德·克魯伊夫看了趙強一眼,又看了林遠一眼。他沒有說話,但表情說明了一切——他沒想到一個中國團隊的人工智慧系統,能在ASML自己的設備上發現ASML沒有發現的問題。
測試開始。
屏幕上的噪聲頻譜圖發生了明顯變化——在13.5納米對應的頻率點上,那個原本微弱但持續存在的諧波峰值,被壓制了78%。
"78%。"德·克魯伊夫念出這個數字,聲音比之前輕了很多。
趙強深吸了一口氣:"如果把這個濾波方案寫進CTIN的標準配置,EUV光源的信號純淨度可以提升至少15%。"
他轉頭看了林遠一眼,壓低聲音:"林哥,這個方案如果反向應用到咱們自己的光刻系統上——65納米產線的信號純淨度也能提升。甚至將來做到45納米,這套濾波算法都能直接用。"
林遠微微點頭。沒說話,但眼睛裡有一絲光。
測試結束後,德·克魯伊夫把林遠叫到走廊。
"林先生,"他壓低聲音,"我需要跟你坦白一件事。"
"請說。"
"昨天那個120秒溫控波動的問題——不是意外。我們的實驗室去年做了一次空調系統升級,新系統的循環周期就是120秒。我知道這個問題,但我沒有提前告訴你們。"
林遠沒有說話。
"我想看看你們在不完美的條件下會怎麼反應。"德·克魯伊夫說,"這是測試的一部分——不是你們的技術測試,是我對你們團隊的測試。"
"結果呢?"林遠問。
"你只用了一天就找到了問題,而且沒有抱怨。"德·克魯伊夫看著他的眼睛,"更重要的是,你們的人工智慧系統發現了我們自己都沒注意到的諧波噪聲。這不是合作——這是降維。"
林遠沉默了一會兒,然後說:"德·克魯伊夫先生,我不會假裝不介意。但也不會否認——這個結果對我們雙方都有價值。"
"這正是我想說的。"德·克魯伊夫點了點頭,"我幹了三十年光學工程,見過的合作案例上千個。大多數團隊到了別人實驗室,要麼唯唯諾諾,要麼雞蛋裡挑骨頭。你們是第三種——不廢話,用數據說話。"
他從口袋裡拿出一支筆,在林遠的測試報告最後一頁寫了一行字:
"建議ASML董事會將CTIN納入EUV光源系統的標準校正方案。——H·德·克魯伊夫"
他把報告遞還給林遠:"這行字,我會提交給范德梅爾。"
晚上,林遠回到酒店。
楊姝冪發來消息:"今天怎麼樣?"
"還行。跑出了一個不錯的數字。"
"多不錯?"
"99.2。"
楊姝冪回了一個笑臉:"雖然我不太懂,但聽起來很厲害。那個荷蘭老頭呢?"
"他被說服了。"
"被說服了?"
"他昨天給我們設了一個局,今天自己承認了。"
"什麼局?"
"溫控系統的120秒波動周期——是他故意沒告訴我們的。他想看我們在有缺陷的條件下能不能發現問題。"
"然後呢?"
"然後我們不但發現了問題,還幫他發現了他們自己都沒注意到的東西。"
"所以你打算怎麼回報他?"
林遠笑了一下:"我已經報了。用數據。"
楊姝冪過了好一會兒才回覆:"你真的很厲害。不是誇你——是事實。早點休息,明天還有三天。對了,二月鹿特丹有個設計展,我可能去。你要是在荷蘭的話,可以一起看看。"
林遠看著屏幕,嘴角動了一下。他打了幾個字又刪掉,最後回了一句:"到時候再說。"
但發完之後,他又加了一句:"你來的話,我請你吃荷蘭煎餅。"
放下手機,他看了一眼桌上的測試報告。最後一頁那行手寫字跡清晰——德·克魯伊夫的推薦,比任何協議條款都有分量。
他翻開筆記本,在今天的記錄欄寫下:
• 第二天,信號完整性99.2,目標達成
• 德·克魯伊夫態度轉變,從觀察者變為推薦者
• 二次諧波降噪方案寫入技術附件
還有四天。但這盤棋,已經贏了最關鍵的一手。
同一時刻,台北。
一份從ASML內部渠道流出的測試簡報被放在台積電研發副總裁的桌上。標題只有一行——"龍騰乙,信號完整性99.2%。"
他看了三遍,拿起電話:"幫我約范德梅爾。下周,哪裡都行。"