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第514章 費爾德霍芬!EUV的震撼!五天生死戰!

2026-10-11 03:31:38 作者: 冷焰天

  2006年1月14日,周六。

  阿姆斯特丹史基浦機場,凌晨六點。

  飛機在灰白色的天光中降落。林遠靠在舷窗邊,看著地面上薄薄的一層霜。趙強坐在他旁邊,抱著那個裝測試方案的手提箱,一路上沒合過眼。

  出發前在首都機場候機的時候,楊姝冪發來一條消息:"到了給我報平安。外套別脫,荷蘭比北京風大。"

  林遠回了個"好"字。十二個小時的飛行里,他又看了三次那條消息。她從來不說"我擔心你",但每一條消息都在說。

  "第一次來荷蘭?"林遠問趙強。

  "第一次出國。"趙強笑了一下,"就是有點沒想到,是來幹這個的。"

  費爾德霍芬——ASML總部所在地,距離機場不到二十分鐘車程。計程車穿過灰濛濛的荷蘭鄉間公路,兩側是大片平坦的牧場和低矮的風車。趙強把臉貼在車窗上,像個第一次出遠門的孩子。

  "你看那邊——"他指著一排巨大的溫室大棚。

  林遠看過去。玻璃溫室在冬日陽光下反射著冷白色的光,一望無際。荷蘭人就是這樣,把一片低洼濕地變成了全球最精密的製造業基地。

  "你覺得ASML和我們有什麼共同點?"林遠忽然問。

  趙強想了想:"都是在一塊不起眼的地方,做了別人不相信能做到的事。"

  林遠點了點頭,沒再說話。

  上午九點,ASML園區。

  德·克魯伊夫親自在門口迎接。他穿了一件淺灰色毛衣,比在北京時放鬆了不少。

  "林先生,趙先生。歡迎來到費爾德霍芬。"他用英語說,"你們的實驗室在B棟三樓。設備已經校準完畢,測試環境按協議參數設置。"

  "謝謝。"林遠說,"可以看看設備嗎?"

  德·克魯伊夫點了一下頭,轉身帶路。

  B棟三樓的走廊盡頭,一扇厚重的防火門。德·克魯伊夫刷卡、輸入密碼、又刷了一次掌紋。門開了。

  林遠走進去,停住了。

  一台EUV光刻機,完整地矗立在實驗室中央。銀灰色的機身在白色燈光下泛著冷冽的金屬光澤。周圍環繞著精密的光學組件、真空腔體和溫控系統,像一座微型的工業大教堂。

  趙強的嘴張了張,沒說出話來。他在北京見過EUV的論文、圖片和模型,但從沒見過實物。眼前的這台機器,比任何照片都要震撼十倍。

  "全球只有三台。"德·克魯伊夫說,語氣里有一絲不加掩飾的驕傲,"這一台是2004年下線的最新原型機。波長13.5納米,數值孔徑0.33。全功率運行溫度——"他看了一眼溫控面板,"目前設定在85攝氏度。比你們龍騰乙的常規測試溫度高42%。"

  趙強繞著機器走了一圈,眼睛幾乎貼在每一個組件上。他蹲下來看了看底部的真空接口,又站起來看了看頂部的光學鏡組支架。

  "整機的熱分布——"他問,"你們做過全負載下的熱圖嗎?"

  德·克魯伊夫微微點頭,顯然沒料到這個中國工程師會第一個問題就問熱分布。"有。在隔壁的資料庫里。如果你需要——"

  "我需要。"趙強說。

  林遠看了趙強一眼。趙強的狀態不對——不是緊張,是興奮。這種興奮,他在趙強跑龍騰乙28納米適配時見過。

  "別急。"林遠低聲說,"先看CTIN的表現。"

  

  林遠走到機器旁邊,伸手摸了摸外殼。冰涼的。

  "可以開始了。"他說。

  第一天。

  趙強把遠望帶來的測試數據導入系統,林遠打開筆記本電腦上的分析工具同步運行實時分析。德·克魯伊夫的團隊站在旁邊,全程記錄。一個荷蘭工程師好奇地看了幾眼林遠筆記本上的分析界面,低聲和旁邊的同事說了什麼。


  林遠注意到了那個眼神——不是輕視,是好奇。遠望的技術,讓這些人感到好奇。這就夠了。

  第一輪測試:CTIN在全功率EUV環境下的基礎信號完整性。

  結果出來的時候,趙強的臉色變了。

  德·克魯伊夫的團隊裡有人發出了輕微的嘆息聲。

  "97.1。"趙強看著屏幕,聲音壓得很低,"比我們在北京跑的98.3低了一個多點。"

  趙強轉頭看了林遠一眼,眼裡有緊張。五天的窗口,第一天就是這個結果,如果找不到原因——

  林遠沒有慌。他盯著數據曲線看了很久。

  "溫度。"他忽然說。

  "什麼?"趙強抬頭。

  "你看這條曲線的波動頻率——和溫控系統的採樣周期完全吻合。不是CTIN的問題,是環境溫度在微小波動。"

  趙強湊近屏幕,重新看了一遍。他的表情從疑惑變成恍然大悟:"你說得對……波動周期是120秒,正好是他們空調系統的循環周期。"

  德·克魯伊夫的團隊也注意到了。一個年輕工程師走過來,用英語問:"你們的測試數據——是在恆溫條件下採集的?"

  "23攝氏度正負0.1度。"趙強說,"你們的實驗室——"

  "我們的溫控精度是正負0.5度。"那個工程師說完,自己也愣了一下。

  正負0.5度。在北京,這意味著CTIN的98.3信號完整性是在更嚴格的環境下跑出來的。而在這裡,溫度波動反而成了干擾源。

  林遠轉頭看向德·克魯伊夫。

  "德·克魯伊夫博士,"他用英語說,"我建議您讓團隊調整一下溫控參數。不是因為我們不行——是因為你們的實驗室精度不夠。"




  "調整。"他對工程師說。然後他轉向林遠,用一種新的眼光打量他——不再是"合作方代表"的眼光,而是"同行"的眼光。

  "林先生,"他說,"你對溫度波動的敏感度,比我預期的要高。"

  "這不是敏感度。"林遠說,"是數據告訴我的。CTIN的自適應補償機制會鎖定任何周期性干擾——120秒的波動周期,不可能是晶片本身的問題。"

  德·克魯伊夫沉默了幾秒。然後他做了一件出乎意料的事——他伸出手,和林遠握了一下。

  "林先生,"他說,"我承認,我來之前對遠望的技術有保留意見。但你剛才對120秒波動的判斷——這不是運氣,是真正的工程直覺。明天的測試,我親自到場。"

  林遠點了一下頭。他沒有多說什麼,但這句話比任何協議條款都重要。

  晚上,林遠回到酒店。

  他給楊姝冪發了一條消息:"到了。實驗室很大。"

  楊姝冪秒回:"開始了嗎?"

  "開始了。第一天——有點小波折。"

  "什麼問題?"

  "他們的空調不太行。"

  "……"

  "我是說,他們的實驗室溫控精度不夠。"

  "那你們能搞定嗎?"

  "正在搞。"

  楊姝冪隔了一會兒才回:"別太累了。你那件深藍色外套穿了嗎?"

  林遠看了一眼搭在椅背上的外套。她每次問的都是同一件事,但每次他都覺得心裡暖了一下。

  "穿了。"他回。


  楊姝冪又發來一條:"對了,荷蘭二月份有個設計展,我查了一下挺有意思的。你忙完了可以去看看。"

  林遠愣了一下。她什麼時候對設計展感興趣了?而且怎麼知道他忙完會有空?

  他沒問,回了個"好"字。

  趙強在隔壁房間發來消息:"明天第一輪的測試參數我已經調整好了,你過目一下。"

  林遠看了一眼,回覆:"可以。早點睡,明天是硬仗。"

  放下手機,他打開筆記本電腦。分析腳本生成的報告已經發到郵箱——標題是"費爾德霍芬實驗室溫控環境對CTIN信號完整性的影響分析"。

  他點開第一頁。

  結論欄里有一行加粗文字:"溫控精度提升至正負0.1度後,預測信號完整性可達99.1以上。"

  下面還有一段附註,字體小了一號:"額外發現:EUV全功率運行時存在一個13.5納米波長的二次諧波噪聲,頻率恰好落在CTIN自適應補償的盲區邊緣。該噪聲在當前溫控條件下被放大。建議明天測試時增加一組濾波驗證。"

  林遠看了兩遍。

  一個連ASML團隊都沒注意到的噪聲特徵,被這個分析腳本從數據噪聲里拎了出來。如果明天驗證成功,這不僅是CTIN通過測試的證據——還可能給ASML的EUV光刻機本身提供一個降噪思路。

  這才是真正的底牌。

  林遠關上電腦,看了一眼窗外。費爾德霍芬的夜空很乾淨,星星清晰可見。趙強在隔壁房間大概還在復算數據——他是個閒不住的人,遇到有意思的數字就像貓遇到了雷射筆。

  還有四天。

  如果一切順利,他們離開費爾德霍芬的時候,手裡將握著的不僅是一紙協議,還有改寫整個行業格局的技術籌碼。


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