華科院半導體研究所。
暗室亮著紅色安全燈。
光影把所有東西都染成了血色。
吳建華站在光刻機旁。
兩眼布滿紅血絲。
下巴冒出一片灰白胡茬。
他在這間屋子裡熬了三天三夜。
第一批八百顆T/R組件晶片的流片結果,全攤在工作檯上。
老周蹲在角落分揀。
合格的放左邊,廢的放右邊。
左邊的堆緩慢長高。
右邊的堆長得更快。
「老吳,數出來了。」
老周直起腰,膝蓋咔吧響了一聲。
「合格六百零二顆。」
吳建華在腦子裡盤算。
百分之七十五。
比顧總工預估的百分之八十,低了五個百分點。
「前三百顆沒問題,良率在百分之八十三左右。」
老周翻開記錄本。
「從第三百五十顆開始往下掉,越到後面廢得越多。」
「最後一百顆,廢了將近四成。」
吳建華沉著臉,走到光刻機前蹲下。
這台國產接觸式光刻機是全所的寶貝。
機身的漆皮磕掉了好幾塊,露出底下的灰色鑄鐵。
他伸手摸向掩模版固定架的導軌。
導軌邊緣有極細微的磨損。
「老周,你過來看。」
老周湊上前。
「導軌磨損了。」
「套刻對準每跑一批就會漂一點。」
「漂到後面,三微米的線寬容限根本兜不住。」
老周張了張嘴:「那……換導軌?」
「換個屁。」吳建華站起身,一巴掌拍在機器外殼上。
「全國就這麼一台能幹這活的光刻機,備件找誰去要?找老天爺?」
暗室里安靜下來。
紅色燈光拉長了吳建華的影子。
「打電話。」他說。
「打給誰?」
「長空基地顧總工!」
……
吳建華大步走出去,抓起桌上的紅色保密專線電話,要通了長空基地。
長空基地。
顧昭昭的辦公室。
桌上的紅色保密專線電話響了三聲。
顧昭昭放下筆,拿起聽筒。
「顧總工,我吳建華。」
「說。」
「第一批八百顆流完了,良率百分之七十五,沒達標。」
聽筒那頭沉默了一秒。
「前段和後段的良率分別多少?」
吳建華報了數。
「光刻機連續作業多長時間了?」
「七十二小時。」
「暗室環境溫度波動範圍?」
吳建華頓了一下,轉頭沖老周喊:「溫度記錄儀拿來!」
老周扯下紙帶念數據。
「最高二十三點八度,最低二十一點六度。」
「波動正負一度左右。」
吳建華對著話筒重複了一遍。
「光源用了多久沒換?」
「這批燈管……」吳建華想了想,「裝上去大概四百個小時。」
「掩模版的材質?」
「鈉鈣玻璃。」
話筒那頭沒聲了。
吳建華握著聽筒,手心出了汗。
電話線里傳來極輕微的翻頁聲。
顧昭昭在翻她的筆記本。
「吳所長,三個問題。」
吳建華猛地挺直腰板。
「第一,你的暗室溫控做到正負一度,對接觸式光刻來說不夠。」
吳建華捏緊了話筒。
「零點五微米的變形,疊加導軌的機械漂移,你的套刻誤差直接翻倍。」
「後段的廢片,至少有一半是這個原因。」
「第二,光源衰減。」
「四百小時的紫外燈管,輸出強度至少下降了百分之十五。」
吳建華把聽筒換到左手,右手摸起鉛筆快速記錄。
「解決辦法——去找一台高精度的恆溫機組,把暗室溫控精度壓到正負零點三度以內。」
「燈管立刻換新。」
「每做完五十片,停機重新校準一次套刻對準標記。」
「不要貪快。」
吳建華記完最後一個字,筆尖在紙上戳出一個黑點。
「顧總工,明白了。」
「第三。」
「還有?」
「你三天沒睡了。」
電話這頭只剩呼吸聲。
「人的手在連續工作七十二小時之後,精細操作的穩定性會下降百分之四十。」
「你現在上手操作,只會增加廢品率。」
吳建華一時語塞。
「去睡四個小時,醒了再干。」
「我——」
「這是技術建議,不是客氣話。」
「你的手,比光刻機的導軌更不可替代。」
咔嗒。
電話掛斷。
吳建華舉著聽筒站在原地。
老周在旁邊探頭探腦。
「老吳,顧總工怎麼說?」
吳建華慢慢把聽筒放回座機。
「她說,讓我去睡覺。」
「啊?」
「她還說,我的手比光刻機值錢。」
老周沒憋住,撲哧笑出聲,又趕緊捂住嘴。
吳建華瞪了他一眼,扯下記錄紙。
「笑個屁!去,給我找高精度的恆溫機組。」
「今天之內搬進來,找不到你就別回來了。」
「上哪兒找啊?」
「京市精密儀器二廠有一台日本三菱的恆溫機組!那是去年剛花外匯進口的寶貝,他們還沒捨得開箱。老周,你拿所里介紹信去跑。」
「跑不下來,就說是國家級軍工重點配套,讓他們廠長立刻接國防工辦的電話,走緊急調撥手續!」
老周一溜煙跑了。
吳建華留在原地,把手裡的事情逐一交代給值班技術員。
然後他走向休息室。
不是因為困。
是因為顧昭昭說了,他的手不可替代。
……
第二天下午。
一台嶄新的日本三菱恆溫機組轟轟響著裝進暗室。
老周跑了大半個京市,鞋底磨穿了一隻,硬是走手續把這台寶貝機組給緊急調撥了回來。
吳建華睡了六個小時。
洗了澡,刮乾淨鬍子。
他站在暗室門口,拿著清單,把顧昭昭提的三個改進點逐項核對。
溫控。
恆溫機組開機運行兩小時後,暗室溫度穩定在二十二度正負零點二五度。
達標。
光源。
新燈管裝好,輸出功率校準完畢。
達標。
校準頻率。
每五十片停機重校。
「開始。」
第二批流片啟動。
第一個五十片出爐。
老周點清數目:「四十二片合格。良率百分之八十四。」
吳建華沒出聲。
第二個五十片。
四十一片,百分之八十二。
第三個五十片。
四十片,百分之八十。
三組數據穩穩噹噹。
前一批那種斷崖式下跌再沒出現。
老周捧著數據單跑到吳建華跟前。
「老吳!綜合良率百分之八十二!」
「比顧總工預估的還高兩個點!」
吳建華接過單子看完。
他走到暗室門口,掏出一根皺巴巴的煙,劃火柴點上。
火苗一跳。
菸頭亮起紅光。
老周拍了拍他的肩膀。
「老吳,咱幾輩子修來的福氣,能給這丫頭打下手。」
吳建華猛吸一口,把菸頭摁滅在鞋底。
「別廢話。」
他把菸頭揣進兜里,轉身走回暗室。
「四千零九十六顆合格晶片,按百分之八十二的良率算,至少要流五千顆。」
「三間暗室同時開工。」
「所有能上手的技術員全給我拉上來。」
「日夜兩班倒,二十四小時不停。」
「是!」