而在新能源汽車這條明線高歌猛進的同時,天宇集團在另一條關乎國家科技命脈的暗線上,也迎來了最關鍵的節點。
這條暗線,就是光刻機。
時間倒退回幾個月前,當長天光學的深紫外光刻物鏡、天卓精密的超精密雙工作檯、以及天虹雷射的193nm準分子雷射光源相繼取得關鍵性突破時,許晨並沒有選擇讓陳立峰私下帶著東西去找上微電子。
光刻機是一個極其龐大且複雜的系統工程,被稱為人類工業皇冠上的明珠。
它包含了幾萬個精密零部件,哪怕天宇把最核心的「三大件」造出來了,想要組裝成一台真正能用的整機,也需要無數頂級的輔助零部件和極高的系統集成經驗。
這種國之重器,僅靠一家私營企業去單打獨鬥是不現實的。
許晨的策略非常清晰。他讓陳立峰直接帶著三大件的詳細測試數據,秘密拜訪了南河省政府的一把手,徹底交了底。
面對這份足以捅破天的數據,南河省高層極其重視。
南河省政府直接動用最高級別的保密專線,聯繫了帝都方面專門負責國家光刻機重大專項的高層大佬。
不出三天,一支由多名國家級院士和半導體頂級專家組成的聯合驗證組,秘密飛抵鄭州。
在天宇的極高保密級別實驗室內,專家組對三大核心部件進行了長達一周、極其嚴苛的物理驗證和數據核對。
當最終的驗證報告擺在桌面上時,整個國家專項組的高層徹底震動了。
誰也沒有想到,光刻機的核心三大件,竟然被一家做新能源汽車的民營企業,用龐大的資金和靈活的資本運作手段,在民間和官方的團隊中砸出了奇蹟。
物鏡系統NA值達到0.85、雙工作檯定位精度1.5納米、準分子雷射器連續穩定輸出。
這三大件,不僅完全達到了65納米乾式DUV光刻機的物理要求,甚至在某些單項指標上逼近了國際第一梯隊!
驗證通過後,國家機器立刻以最高效率運轉了起來。
上面直接下達了最高指令,由國內唯一擁有光刻機整機集成經驗的「國家隊」——上微電子(SMEE)牽頭,全面啟動65納米國產乾式光刻機的整機製造。
國家層面全力配合。光刻機不僅僅需要三大件,還需要極其精密的流體控制閥門、高純度氣體管線、絕對減震的空氣彈簧懸浮底座以及高端光刻膠的塗布設備。
經過這麼多年的國家投入,國內的供應鏈其實並非一無是處,在很多細分領域的周邊零部件上,國內企業早就已經具備了達到國際標準的能力,他們之前只是苦於沒有核心三大件,造不出整機而已。
如今,核心湊齊,國家直接出手調配。全國各地最頂尖的供應鏈零部件,開始源源不斷地匯聚到魔都張江高科技園區的上微電子總部。
在國家隊的總工程師賀建國的帶領下,整個上微電子進入了全封閉的攻堅狀態。他們將天宇集團提供的三大件,與來自國內頂級供應鏈的其他零部件,進行著極其複雜的物理拼裝和底層軟體打通。
這一干,就是大半年。
時間回到現在,2017年8月。
鄭州,天宇集團總部大樓,董事長辦公室。
陳立峰將一份紅色封皮的絕密文件放在了許晨的辦公桌上,他的呼吸有些急促,眼神中透著難以掩飾的激動。
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「許總,上面傳來的消息。」陳立峰壓低了聲音,匯報最新的進度,「上微電子那邊的整機集成,已經到了最後一步了。」
許晨翻文件的手微微一頓,抬起頭看向陳立峰:「具體進度到哪了?」
「硬體的物理組裝已經全部完成。」陳立峰如實匯報導,「長天的物鏡、天卓的工作檯、天虹的光源,以及上面調配過來的三百多個國產核心輔助系統,已經全部接駁完畢。目前,賀建國總工程師正帶領團隊進行最後一步的軟硬體底層協議握手,以及光路的極限微調。」
陳立峰深吸了一口氣:「賀總工說,這幾天只要光路對齊的偏差值修正到容錯區間內,就可以正式開始『初光測試』(First Light),也就是第一次真正的晶圓曝光了。上面負責專項的大佬目前也已經在魔都坐鎮了。」
許晨靜靜地聽完,目光落在那份絕密文件上。
到了這一步,就意味著這台匯聚了華國最頂尖製造能力、承載著無數半導體人希望的65納米乾式DUV光刻機,已經是一個完整的生命體了。它現在只差最後一口氣,就能真正甦醒。
「這就是臨門一腳了。」許晨站起身,走到落地窗前。
「是的,一旦初光測試的數據能穩定在65納米的線寬內,就證明整機的機械協同和光學折射沒有任何問題,華國半導體設備的腰杆子,就真正挺直了。」陳立峰在一旁說道。
65nm乾式DUV光刻機。
在後世那些動輒7nm、5nm甚至3nm的EUV(極紫外)光刻機面前,65nm聽起來似乎有些落後。
但作為一名穿越者,許晨非常清楚,65nm乾式光刻機,是華國半導體工業必須跨過去的一道天塹,也是一切高級工藝的基石!
因為物理定律決定了,193nm波長的雷射,在空氣中(乾式)折射的物理極限,最多只能雕刻出65nm的線寬。
只要掌握了65nm乾式光刻機,就意味著華國在光刻機最核心的機械控制、光學鏡片研磨和光源穩定性上,真正達到了世界一流水平。
而跨過了這一步,接下來的路就清晰了。
只要在鏡頭和晶圓之間加入一層純水(即浸沒式光刻技術),利用水的折射率,就能把同樣的193nm雷射波長,等效縮短到134nm。
這樣一來,這台65nm的乾式光刻機,稍微一升級,就能順理成章地變成可以製造45nm、28nm甚至通過多重曝光達到14nm工藝的浸沒式DUV光刻機!
萬丈高樓平地起,而這台65nm乾式機,就是那塊最堅固的地基。
許晨轉過身,沉聲說道:「訂機票。不要動用集團資源,用個人的名義訂兩張飛魔都的票,越低調越好。明天一早,我們去上微電子。」
「明白。」陳立峰立刻點頭。
整機集成的最後一步,猶如攀登珠穆朗瑪峰的最後十米。許晨知道,他必須親自去現場,見證這個屬於華國工業史上的關鍵時刻。
......
(四章更新,各位讀者大大求催更求免費的小禮物,接下來就是65nm的成功,然後到2018年就可以穩定量產,升級一下,就到45nm,2019年的時候制裁開始加大,正好能接上,基本上不會影響到天宇集團,然後光刻機搞出來就是半導體晶片的開發,也是會出一些成果的,有汽車相關也有手機相關的,看到這沒有給好評的讀者大大們,求一個五星好評謝謝大家!!)