2005年11月8日,周三。
上海。張江。上海微電子測試中心。
林遠回來五天了。
從北京回來的那天下午,他直接扎進了測試中心,再沒離開過。系統還在跑——72小時測試結束之後他沒有關機,而是一直保持著運行狀態。十天了。精度從1.71緩慢漂移到了1.74,還在可控範圍內。
但"可控"這個詞,在納米精度的世界裡,含義和日常完全不同。它意味著每一個小時、每一分鐘,系統都在和物理極限做博弈。
杜建國每天都在。他是上海微電子的人,系統就在他家門口,他沒有不在的道理。兩個人輪班盯著監控屏,白天一人六小時,晚上各守半夜。
趙強在北京遠程盯著數據。每天早上八點、晚上八點,兩次數據同步。三個小時的時差對他來說不是問題——他本來就不是正常作息的人。
今天是周三。距離第二輪複測還有三天。
林遠桌上攤著一份手寫的技術備忘錄,密密麻麻記滿了這十天的數據變化。每一行數字背後,都是他和團隊用不眠不休換來的經驗。
下午兩點,精度跳到了1.78。
林遠盯著屏幕,心跳快了一拍。
上次出現這個數值,是72小時測試的第55個小時——非線性區間入口。但那時候趙強的模型剛更新完,補償餘量充足。現在不一樣——系統已經連續運行了十天。鈦合金鏡座的熱蠕變在持續累積。
他立刻給顧明誠打了電話。
半小時後,顧明誠到了。他蹲在光學平台旁邊看了十分鐘,站起來的時候臉色不太好。
"鏡座變形了。"
"多少?"
"0.02微米。"
0.02微米。聽起來很小,但在納米級精度的系統里,這是巨大的偏差。相當於一架飛機偏離航線兩公里——地面看不出來,但目的地完全偏了。
"鈦合金的極限到了。"顧明誠摘下手套,聲音很沉,"連續運行超過48小時,熱蠕變就開始加速。現在已經十天了,累積形變快頂到臨界點了。"
"能修嗎?"
"臨時方案:重新標定補償參數,能撐幾天。根治方案——換碳化矽鏡座。但新材料的加工周期至少要兩個月。"
"沒有兩個月。"林遠說,"三天後就是複測。"
顧明誠看了他一眼,沒說話。轉身去工具台開始調參數。
林遠撥通了趙強的電話。
"鏡座漂移了0.02微米。1.78了。"
電話那頭安靜了三秒。然後趙強說:"給我兩小時。"
兩小時後,趙強回電。
"我重新跑了熱蠕變的預測模型——加了十天累積數據的修正因子。新參數灌進去之後,精度應該能回到1.75以內。"
"能撐多久?"
"三天。三天之後,鏡座的形變會超出模型的預測能力。補償會失效。"
三天。正好是複測的窗口期。
"夠了。"林遠說。
"剛好夠。"趙強的語氣沒有起伏,"多一天都不行。"
晚上七點。
新參數灌入系統。精度開始緩慢回落——1.77,1.76,1.75。
蘇明遠的電話在這個時候來了。
"雷射器的事情,有眉目了。"
林遠精神一振。"說。"
"西安有個光機所的衍生企業——精曜光電。實驗室階段的高精度雷射器功率能做到日本光研精工的80%。但連續運行穩定性只有60%。"
"能用嗎?"
"現在不能用。但他們的技術負責人說,如果有人投資兩百萬做工程化驗證,兩到三個月能把穩定性提到80%。"
兩百萬。兩三個月。
林遠現在手裡沒有兩百萬。遠望的對公帳戶上只有十八萬,連一個月的研發投入都不夠。
他不是沒賺過錢。WatchGuard、Consumer企業版、百都SafeBackup、德勤項目費、賽門鐵克專利費——軟體線的收入一直在進。百都那三千萬投資更是直接讓帳上數字翻了一倍。863專項還有6.5億的撥款。
但花得更快。
863的錢專款專用,每一筆都要審計,碰都不能碰。星核社區的百萬美元賞金已經發出去了,平台運營、伺服器、帶寬每個月都是天文數字。團隊從十幾個人擴到幾十人,工資、社保、股權激勵,一個月就是幾十萬。前陣子流片良率暴跌,重做一輪又燒掉一大筆。華維聯合實驗室的經費對半出,星雲的全球節點還在擴建。
六條產品線同時燒錢,收入再高也扛不住這個消耗速度。
"方河那邊——"
"方河是下周二。"蘇明遠打斷他,"得先過了周五的複測,百都的事才有得談。"他停了一下,語氣沉了幾分,"遠哥,西安那邊我讓他們等一周。一周之後,要麼我們有錢投,要麼他們去找別的資方。不會一直等。"
"一周夠了。"
"希望夠了。"蘇明遠嘆了口氣。
掛了蘇明遠的電話,十分鐘之後,克勞斯的電話來了。
阿姆斯特丹時間中午十二點。克勞斯的聲音壓得很低。
"謝弗在加速。"
"什麼意思?"
"他給范德梅爾下了最後通牒——11月25日之前,ASML必須簽署對華供應鏈排他協議。否則BIS將啟動對ASML美國關聯組件的出口許可審查。"
"ASML的光源子系統有美國組件?"
"Cymer。光源核心供應商之一。如果Cymer的出口許可被凍結,ASML整個EUV產線都會受影響——不只是對中國,對全球。"
"謝弗在拿整個ASML當人質。"
"是的。范德梅爾還在拖,但他最多能拖到11月25日。過了這個日子——"
"供應鏈全斷。"
"不只是斷。是永久終止。謝弗這次不會再給第二次機會。"
林遠沉默了。
兩條線同時收緊。雷射器沒有國產替代。ASML的窗口只剩三周。國家專項的複測三天後就開始了。
"你還能做什麼?"
"我能做的已經做了。"克勞斯說,"接下來看你們的了。複測如果成功,你們進了國家專項——至少在政治層面,謝弗動你們會多出一些顧慮。"
"明白。"
掛了電話,林遠站在實驗室門口,看著裡面嗡嗡運轉的系統。
1.74nm。穩定的。
趙強的新參數在起作用。但這只是臨時方案——三天之後,如果複測延期,這個系統就會徹底失控。
三天。72小時複測。在院士面前,不容許任何閃失。
夜裡十一點。
杜建國回去休息了。林遠一個人坐在監控室里。
屏幕上,精度曲線在1.74附近微微波動。像心電圖。像這個系統的心電圖。
手機響了。趙強的簡訊。
"睡不著。想了一下——如果複測的時候鏡座蠕變突然加速,我的模型有一個應急方案。但有風險。"
林遠回:"什麼風險?"
"應急補償會讓系統功耗升高30%。如果恆溫系統跟不上,溫度波動超過0.1度——精度會直接崩到2.0以上。"
"恆溫系統能控制在0.05以內。"
"理論上。但如果硬體再出問題——"
"不會。"
趙強沒有回覆。過了五分鐘,發來一條:
"我信這個系統。我們做出來的。"
林遠看著這條消息,嘴角微微動了一下。
趙強不是那種會說鼓勵話的人。他說"我信",就是真的信。
林遠回了一個字:"嗯。"
然後他關掉手機屏幕,靠在椅背上,閉上眼睛。
三天後,一切見分曉。