2005年11月11日，周五。早上八點。
上海微電子測試中心。
系統已經連續運行了十三天。
精度穩定在1.74nm——趙強的模型還在撐著。但所有人都知道，鈦合金鏡座的熱蠕變已經逼近極限。多跑一天，風險就大一分。
今天，是複測日。
八點半，吳運彰院士到了。
跟他一起來的還有劉芷芳院士，微電子所的，搞器件物理出身。評審組另外兩位院士沒來上海，全程看遠程數據。
吳院士沒帶隨從，只拎了個舊皮包。走進測試中心，先看人不看設備。
"林遠。"他站在門口，上下打量了一下，"比我想像的年輕。"
"吳院士好。"林遠迎上去。
"材料我看了。數據不錯，知識體系嘛——"他頓了頓，"有亮點，也有經不起追問的地方。"
沒給笑臉，也沒給壓力。一個做學問的人，實話實說。
劉芷芳院士沒寒暄，進門就直奔光學系統，蹲下去看鏡座銘牌。她翻了翻設備日誌，跟顧明誠確認了鈦合金牌號和蠕變曲線，然後在本子上記了幾筆。
林遠注意到了。這個人不簡單。
九點整。
72小時複測正式啟動。
杜建國在主控台操作——他已經在這個位置上守了十三天。流程閉著眼都能走：啟動全速掃描模式，確認傳感器陣列正常，記錄初始狀態。
顧明誠守在光學系統旁，每半小時檢查一次鏡面溫度。趙強在北京遠程接入，視頻連線掛在牆上的顯示器里——"模型是我的，我得看著它。"
第一輪掃描結果出來：1.74nm。
吳院士看了一眼數據，沒說話。
第一小時，1.74。
第二小時，1.73。溫度平衡，系統正常。
第三小時，精度開始爬升——1.75。
杜建國扭頭看了林遠一眼。這個節奏，跟上次一樣。鏡座的熱蠕變進入加速區間了。
"模型在補償。"林遠盯著屏幕，聲音平靜。
果然——1.75持續了十五分鐘，然後緩慢回落。1.74。
吳院士端著保溫杯，慢慢喝了一口水。
"你們的模型，預判了這次漂移？"
"是。我們跑了十三天的連續數據，把熱蠕變的非線性特徵餵進了模型。它現在能預測未來六到八小時的漂移趨勢，提前調整補償參數。"
"六到八小時？"劉芷芳從文檔里抬起頭，"這個預測窗口太短了。"
"鈦合金材料的物理限制。"林遠沒有迴避，"如果換成碳化矽鏡座，預測窗口可以擴展到四十八小時以上。但那是下一輪硬體升級的事。"
吳院士點了下頭："你知道局限在哪，這比假裝沒有局限好。"
第十二小時。精度1.76。
上次72小時測試，同一時刻精度跳到了1.81，差點崩到2.0。這次是1.76——好了0.05。
但吳院士的目光變得銳利了。
"上次1.81，這次1.76。好了0.05——原因是什麼？"
"兩個原因。"林遠說，"第一，鏡座連續運行十三天後進入穩態蠕變階段，形變速率比第一個周期更平緩。第二，趙強的第三版模型加入了穩態修正因子。"
他把兩份漂移曲線疊在一起投影到屏幕上。"藍線是上次，紅線是這次。爬升斜率更低，拐點更早出現，回落也更快。"
吳院士看了足足兩分鐘。
"有意思。繼續。"
第二十四小時。精度1.73。
吳院士讓三個研究生輪班盯數據，自己坐在角落摺疊椅上看論文。七十多歲的老人，在測試中心過夜。
空調嗡嗡響。林遠的眼睛開始發澀——他已經連續工作了十六個小時。咖啡喝了三杯，胃在抗議。
劉芷芳院士也沒走。她拿著計算器演算了一會兒，突然壓低聲音問林遠："你那個補償模型的非線性參數估計，窗口切換時怎麼處理不連續性？"
"加了過渡平滑函數。"
她盯著他看了幾秒，點了點頭，回到自己的位置。
晚上十一點，測試中心只剩幾個人。吳院士也沒走。
"你不回去睡覺？"他頭也不抬。
"您也沒走。"
吳院士笑了一下——今天第一次。"我年紀大了，覺少。你不一樣，你才十九吧？"
"二十歲熬七十二小時，比七十歲的人有底氣。"
"話是這麼說。"吳院士放下論文，"但做技術不能只靠年輕。年輕人最容易犯的錯——是相信直覺，不信數據。你那個模型說能撐三天。但你們是在一個超期運行的系統上做預測。鏡座多跑一天，不確定性就多一分。你賭的是什麼？"
林遠盯著屏幕上跳動的數字。
"我賭的不是模型。是這十三天跑出來的數據。每一個數據點都是真實的。模型只是工具，數據才是地基。"
吳院士看了他很久。
"好。這個回答，比上一個好。"
第四十八小時。
精度1.72。
杜建國帶著兩杯咖啡回來，眼圈發黑。
"鏡座進入穩態了。"他把咖啡遞給林遠，"內部應力釋放得差不多，形變速率在降。最後二十四小時，應該比這段更穩。"
林遠接過咖啡，手有點抖——不是緊張，是缺覺。他已經三十多個小時沒合眼了。
吳院士在摺疊椅上睡了三個小時，醒來繼續看數據。他的筆記本已經寫了二十多頁。
凌晨三點，測試中心安靜得只剩儀器運轉的低頻嗡鳴。林遠靠在椅背上，閉了一會兒眼。腦子裡全是數字——1.74、1.73、1.72、1.76、1.74……像一首循環播放的曲子。
他沒有睡著。
第七十二小時。
十一月十四日，周一。早上九點。
顯示屏上的數字定格。
1.71nm。
全程在2.0nm以內。最大漂移1.82——發生在第三十六小時，比上次的1.93低了不少。
杜建國站起來，長長地吐了口氣。
顧明誠摘下眼鏡揉了揉眼睛，鏡片上全是指紋。
趙強的視頻畫面里傳來一聲悶吼——他大概從椅子上跳了起來。
吳院士合上筆記本。整整三天，密密麻麻二十多頁數據記錄。
"數據我帶走。評審組會做獨立分析。"
他看向林遠。
"二十歲。帶著一幫三十歲不到的人，在上海微電子的實驗室里，把一個EUV系統原型從一堆零件跑到1.71nm。"
他頓了頓。
"不容易。"
兩個字。但從吳運彰嘴裡說出來，比任何誇獎都重。
林遠點了一下頭。"謝謝吳院士。"
"別謝我。數據說了算。"
吳院士拎起皮包，走到門口。忽然停下來，回頭。
"你的'文獻交叉融合'——我查了一部分。"
林遠的手指猛地攥緊。
"有些引用確實巧妙。"吳院士的語氣聽不出喜怒，"但有兩三篇，文獻本身發表不到兩年，我看不出你是怎麼精準找到並消化的。"
他沒等回答，推門走了。
測試中心安靜了。
林遠站在原地，發現自己的後背全是冷汗。
"怎麼精準找到並消化的"——這句話是刀。
吳院士在試探他的信息來源。一個二十歲的博士生，能找到發表不到兩年的前沿文獻不稀奇——但"精準找到並消化"，這個措辭在暗示：你有導師？有團隊？有你不願意說的渠道？
如果他解釋——"我自己有一套檢索方法"——吳院士會追問細節。追問下去，沒法解釋。
他沒有上當。沉默三秒，什麼都沒接。
但吳院士已經得到了他想要的答案——至少是半個答案。
手機響了。趙強的消息：
"結果怎麼樣？"
"1.71。全程達標。"
"我就說。數據說了算。"
林遠笑了一下。然後看到蘇明遠的消息：
"方河剛來電話——他看到複測結果了。百都的事，下周二詳談。"
林遠靠在椅背上，閉上眼睛。
複測結束了。但事情遠遠沒有結束。吳院士的追問、方河的談判、克勞斯的三周期限——每一條線都在收緊。
他睜開眼睛，拿起手機。